EIS-200ERP (Elionix Ion Beam Etching/Sputtering System): Đây là một hệ thống quang khắc/phún xạ chùm ion, cho phép ăn mòn vật liệu ở cấp độ nano và lắng đọng bằng cách sử dụng chùm ion ECR.

Dòng PlasmaPro của Oxford Instruments cung cấp các nền tảng xử lý plasma linh hoạt từ R&D đến sản xuất khối lượng lớn, bao gồm các công nghệ RIE, ICP, ICP CVD, PECVD và RIE/PE kết hợp. Hỗ trợ wafer từ mảnh nhỏ đến 300mm, kiểm soát ứng suất màng bằng tần số kép (LF/HF), phát hiện điểm kết thúc bằng OES/laser. Giải pháp tối ưu cho MEMS, cảm biến, quang tử, LED, vi điện tử công suất và phân tích thất bại.

MICADAS là hệ thống phổ khối lượng gia tốc (AMS) ¹⁴C hàng đầu từ Ionplus AG, mang lại độ chính xác vượt trội, hiệu quả năng lượng cao và thiết kế nhỏ gọn cho các ứng dụng định tuổi bằng carbon phóng xạ tiên tiến.

AttoMap-310 cung cấp khả năng lập bản đồ nguyên tố vi lượng, độ nhạy vượt trội gấp 1000 lần SEM-EDS. Công nghệ nguồn tia X độc quyền từ Sigray cho phép đạt độ phân giải xuống dưới < 3-5µm và tốc độ lên tới 5ms/điểm, là giải pháp đột phá cho nghiên cứu bán dẫn, khoáng vật học và khoa học vật liệu.

Danh mục sản phẩm của SPECS đã được mở rộng với dòng hệ thống quang phổ XPS ProvenX, đại diện cho đỉnh cao từ nền tảng kiến thức rộng lớn của chúng tôi trong việc phát triển và sản xuất các hệ thống phân tích toàn diện nhằm đáp ứng những yêu cầu khoa học khắt khe nhất. ProvenX bao gồm một loạt các hệ thống XPS chuyên dụng cho ARPES, µ-ARPES, Kính hiển vi động lượng (Momentum Microscopy), XPS/UPS cũng như NAP-XPS.

Là máy nhiễu xạ điện tử ngang chuyên dụng đầu tiên trên thế giới, ELDICO ED-1 kết hợp nguồn tia 160 keV và đầu dò DECTRIS QUADRO. Thiết bị đạt độ phân giải <0.84 Å, giúp giải mã cấu trúc tinh thể nano (10–1000 nm) nhanh chóng. Đây là giải pháp Cost-effective tối ưu cho nghiên cứu dược phẩm, vật liệu pin và hóa chất nông nghiệp.

EnviroESCA của SPECS là hệ thống quang phổ electron phân tích hóa học trong điều kiện môi trường thực tế nhờ công nghệ (N)AP-XPS đột phá. Thiết bị hoạt động ở áp suất lên tới hàng trăm mbar, tích hợp nguồn tia X đơn sắc Al $K_\alpha$ micro-focused và Environmental Charge Compensation giúp khử nạp nền tự động. EnviroESCA rút ngắn tối đa thời gian từ nạp đến đo mẫu, lý tưởng cho nghiên cứu vật liệu sinh học, polyme, pin, xúc tác và chất lỏng

SPECS FE-LEEM/PEEM P90 Series là hệ thống kính hiển vi điện tử bề mặt thế hệ mới, kết hợp đột phá giữa kỹ thuật LEEM và PEEM trong một thiết kế mô-đun tối giản, siêu ổn định. Được trang bị nguồn súng phát xạ trường lạnh (Cold Field Emission Gun) và bộ lọc năng lượng tích hợp, hệ thống mang lại khả năng phân tích phổ vi mô và hiển thị ảnh cấu trúc màng mỏng với độ phân giải không gian vượt trội dưới $2\text{ nm}$. Đây là giải pháp phân tích tối ưu cho các nghiên cứu động học bề mặt in situ, khoa học vật liệu tiên tiến và công nghệ nano

Apex XCT-150 là một kính hiển vi X-ray mang đến những kết quả không tưởng khi cho hình ảnh 3D độ phân giải sub-micron chỉ trong vài phút. Là công cụ tiên tiến trong phân tích lỗi và đóng gói ngành công nghiệp bán dẫn. Hình ảnh có độ phân giải không gian 0,5 micron ở bất cứ đâu trên các mẫu có đường kính lên tới 300 mm. Với Apex XCT, có thể hợp lý hóa quy trình công việc phân tích lỗi bằng cách chụp ảnh toàn bộ các đóng gói, tấm bán dẫn và PCB còn nguyên vẹn, giảm thiểu việc chuẩn bị mẫu tiêu tốn thời gian và phải phá huỷ mẫu.

Hệ thống làm lạnh bằng pha loãng động vị He Bluefors LD series cung cấp môi trường cryogenic mili-Kelvin ổn định cho nghiên cứu quantum computing, hỗ trợ qubit siêu dẫn và đo lường lượng tử với độ chính xác cao. 

IQM Quantum Computers IQM Halocene là hệ thống máy tính lượng tử siêu dẫn thế hệ mới được phát triển cho nghiên cứu hiệu chỉnh lỗi lượng tử (Quantum Error Correction – QEC) và điện toán lượng tử chịu lỗi (fault-tolerant quantum computing), hỗ trợ kiến trúc logical qubits cùng nền tảng mở cho các trung tâm HPC, viện nghiên cứu và tổ chức phát triển công nghệ lượng tử tiên tiến.