F&S Bondtec 5330 là dòng máy hàn dây Wedge-Wedge chuyên dụng cho dây vàng, dây nhôm 17,5–75 µm và ribbon đến 250 µm. Tích hợp trục Z truyền động bằng motor bước tuyến tính nạp và cắt dây tự động bảo đảm độ lặp lại mối hàn cao phù hợp cho R&D, chế tạo mẫu, sản xuất quy mô nhỏ và sửa chữa vi mạch.

Máy hàn dây tự động F&S Bondtec 8650 sở hữu công nghệ đầu hàn Wedge-Wedge thay đổi linh hoạt cho dây lớn kết hợp bộ nhận diện hình ảnh thông minh (PRU). Máy đạt hành trình X/Y đến 700x480 mm cùng dải lực lớn từ 0-1800 cN và tích hợp làm sạch tuyết CO2. Thiết bị tối ưu hóa tốc độ đóng gói, loại bỏ sai số thủ công, lý tưởng cho R&D và sản xuất mạch lai, COB sản lượng trung bình.

Sở hữu công nghệ chùm ion EXLIE tiên tiến, máy quang phổ khối thứ cấp SIMS AKONIS đạt độ phân giải <1 nm/decade. Đây là giải pháp in-line tối ưu cho sản xuất bán dẫn khối lượng lớn (HVM), giúp đo lường thành phần màng và biên dạng cấy ion trên pad siêu nhỏ 20 µm hoàn toàn tự động hóa mà không cần đến chuyên gia SIMS.

F&S Bondtec Series 90 đột phá với thiết kế "6 trong 1", cho phép hoán đổi nhanh giữa đầu hàn dây tự động và kiểm tra lực kéo/cắt. Máy có vùng làm việc rộng 480x700mm cùng hệ thống PRS thông minh, giúp tối ưu độ chính xác, tiết kiệm chi phí và linh hoạt sản xuất. Đây là lựa chọn lý tưởng cho vi mạch, bán dẫn công suất và pin xe điện.

F&S Bondtec 5350 là máy hàn dây Wedge-Wedge cho dây lớn 100–500 µm (Al) và 100–300 µm (Cu), hỗ trợ ribbon đến 250 µm. Máy dùng trục Z/Y motor hóa, lực ép Voice-Coil 0–1800 cN, cắt dây tự động micromet, siêu âm 58 kHz (tùy chọn 40–120 kHz), phù hợp R&D, prototyping và repair với độ lặp lại cao.

Máy hàn dây và kiểm tra lực kéo/cắt 5600Ci sở hữu thiết kế All-in-One độc quyền, cho phép chuyển đổi linh hoạt giữa các đầu đo kéo/cắt tự động. Máy đạt độ chính xác đến 0.1% , tốc độ test nhanh 2-3 giây/dây nhờ hệ thống nhận diện hình ảnh thông minh. Thiết bị giúp tối ưu hóa chi phí đầu tư, lưu trữ dữ liệu chuẩn SPC và là giải pháp lý tưởng cho các ứng dụng COB, vi mạch lai trong ngành bán dẫn.

F&S Bondtec 5310 là dòng máy hàn dây thủ công chuyên dụng cho các ứng dụng xử lý dây vàng (Gold) có đường kính từ 17,5 đến 50 µm trên cuộn dây kích thước 2 inch. Máy đạt độ phân giải bước mịn 1 µm, tích hợp bộ điều khiển nhiệt lên đến 250°C và lưu thông số vào ổ cứng. Thiết bị mang lại kết quả hàn đồng nhất, lặp lại chính xác, lý tưởng cho chế tạo mẫu thử, R&D và sửa chữa vi mạch.

Máy hàn dây vàng bán tự động F&S BONDTEC 5610i (12.5–50 µm) điều khiển bằng PC, kết hợp ưu điểm của thiết bị thủ công và tự động. Máy có độ chính xác cao, linh hoạt với chế độ Single Bond và Multi Wire, đáp ứng tốt việc sửa mẫu và hàn chip vi mạch. Đặc biệt, máy có thể chuyển đổi nhanh thành thiết bị kiểm tra lực kéo/cắt tiện lợi.

SPECS EnviroMETROS là thế hệ hệ thống XPS đo lường bề mặt (Surface Hybrid Metrology) mang tính cách mạng, được thiết kế chuyên dụng cho việc phân tích thành phần hóa học theo chiều sâu của màng mỏng từ quy mô phòng thí nghiệm đến nhà máy sản xuất bán dẫn. Hệ thống tích hợp cốt lõi kỹ thuật quang phổ ảnh điện tử tia X phân giải góc (ARXPS) tự động hóa hoàn toàn, kết hợp linh hoạt đa nguồn năng lượng tia X và khả năng vận hành trong dải áp suất cực rộng từ chân không siêu cao (UHV) đến cận áp suất khí quyển (NAP). Đây là giải pháp tối ưu để phân tích cấu trúc lớp và đặc tính vật liệu mà không phá hủy mẫu.

KDF In-Line PVD Solutions (thuộc tập đoàn Kurt J. Lesker) là dòng thiết bị phún xạ màng mỏng theo mẻ liên tục (batch in-line) tiên tiến, sở hữu độ tin cậy cơ khí vượt trội cùng chi phí sở hữu (CoO) thấp nhất trong ngành công nghiệp. Khác với các hệ thống dạng cụm (cluster tools) cồng kềnh, cấu trúc phân làn liên tục của KDF giúp tối ưu hóa không gian, đơn giản hóa quy trình vận hành và bảo trì, đồng thời mang lại bước nhảy vọt về độ đồng đều của màng phủ, sản lượng đầu ra và độ ổn định quy trình. Hệ thống được thiết kế linh hoạt, đáp ứng hoàn hảo từ quy mô nghiên cứu phát triển (R&D) cho đến sản xuất công nghiệp khối lượng lớn trong các lĩnh vực bán dẫn, vật liệu mới, thiết bị y tế và màn hình phẳng.

Thiết bị dán Wafer n.unixx-series áp dụng công nghệ liên kết nhiệt-áp suất (Thermal-Pressure Bonding) đột phá. Hệ thống sở hữu bộ tạo áp suất chỉnh cơ tinh vi cùng dải nhiệt độ gia nhiệt lên đến 200°C với độ đồng đều ±0.5°C, mang lại mối dán liên kết màng hoàn hảo. Thiết bị là giải pháp lý tưởng giúp tối ưu hóa quy trình dán ép wafer đơn cho các ứng dụng MEMS, vi cơ điện tử và đóng gói bán dẫn nâng cao.

Hệ thống bóc tách Wafer n.unixx-series sử dụng công nghệ tách trượt bằng nhiệt (Thermal Slide Separation) tiên tiến với lực bóc tách điều chỉnh linh hoạt. Hệ thống tích hợp các tấm gia nhiệt độc lập cho wafer và carrier đạt nhiệt độ đến 200°C cùng đường chân không bảo vệ xung yếu. Thiết bị là giải pháp lý tưởng giúp xử lý an toàn các wafer siêu mỏng nhạy cảm trong đóng gói 3D-IC, chip bán dẫn ghép tầng và MEMS.

ALD-150LX là giải pháp hàng đầu của Kurt J. Lesker cho phương pháp lắng đọng lớp nguyên tử (ALD), cho phép chế tạo màng mỏng đồng đều ở cấp độ nguyên tử. Hệ thống tích hợp các công nghệ độc quyền như kỹ thuật tập trung tiền chất (Precursor Focusing Technique™ - PFT) và khả năng xử lý có độ tinh khiết siêu cao (Ultrahigh Purity - UHP), mang lại hiệu suất cao và linh hoạt cho phòng thí nghiệm.