Đặc điểm chính
- Công nghệ cột EXLIE mật độ cao: Tối ưu hóa kích thước chùm tia (< 30 µm) và tăng tốc độ phún xạ (> 5 nm/phút ở 150 eV), đảm bảo thông lượng phân tích cực cao ngay cả trên cấu trúc màng dày.
- Đo lường bề mặt wafer toàn diện: Khả năng kiểm tra mẫu blanket và hoa văn (patterned) trực tiếp trên pad vi mạch siêu nhỏ tới 20 µm nhờ hệ thống nhận dạng AI Cognex và bệ mẫu giao thoa kế siêu chuẩn xác (< 2 µm).
- Vận hành tự động tuyệt đối: Tự động lấy nét chùm tia và điều chỉnh quang học thứ cấp, kết hợp công nghệ bù điện tích tia cực tím gần (near UV OCE) cho phép kỹ thuật viên thao tác máy một cách trực quan, nhanh chóng.
- Thời gian đáp ứng quy trình siêu tốc: Buồng khóa tải (loadlock) tự động đưa mẫu vào dưới 90 giây, giúp giảm hơn 97% thời gian chờ dữ liệu phản hồi (feedback) về dây chuyền nhà máy so với quy trình phân tích lab truyền thống.
- Chi phí sở hữu (TCO) thấp: Tích hợp bộ xử lý wafer Brooks front-end, chân không Pfeiffer bền bỉ và đạt tiêu chuẩn an toàn SEMI (S2/S8, E4, E5, E39, E84...), thiết kế footprint nhỏ gọn đáp ứng không gian sub-fab.
Mô tả chi tiết
Công nghệ quang phổ khối SIMS In-line đột phá
Kế thừa hơn 60 năm kinh nghiệm dẫn đầu của CAMECA về công nghệ chùm tia ion, AKONIS mang sức mạnh phân tích cấp độ phòng thí nghiệm chuyển dịch trực tiếp vào dây chuyền nhà máy (Fab). Cốt lõi của hệ thống là công nghệ chùm tia ion năng lượng cực thấp EXLIE (< 150 eV). Khác biệt với các hệ thống SIMS lỗi thời, chùm tia EXLIE mật độ cao kết hợp với kiến trúc quang học thu thập phân giải cực tốt, mang lại tín hiệu phân tích siêu ổn định và duy trì độ nhạy tối đa mà không gây hư hại diện rộng cho bề mặt chip.
Giải quyết bài toán đo lường HVM và nút công nghệ N5
Trong quy trình sản xuất chất bán dẫn khối lượng lớn (HVM), việc giám sát biên dạng cấy ghép ion (implant profiles) và thành phần lõi vật liệu (như chuỗi SiGe/SiP) luôn là thách thức về mặt thời gian. AKONIS phá vỡ rào cản này bằng tốc độ phân tích ưu việt đạt 8 wafer/giờ. Đặc biệt, cấu trúc định tâm quang học tiên tiến trên đầu dò giúp hệ thống có độ lặp lại và tái lập xuất sắc (< 1%), trở thành trợ thủ năng suất (yield) then chốt cho tiến trình CMOS cao cấp N5 và xa hơn.
Nền tảng điều khiển phần mềm trực quan
Xóa bỏ hoàn toàn định kiến máy SIMS là thiết bị học thuật vô cùng phức tạp, AKONIS được trang bị phần mềm điều khiển với giao diện tối giản được cá nhân hóa cho người vận hành tại nhà máy. Quá trình cấu hình công thức đánh giá (recipe) được thiết lập tự động hoàn toàn dựa vào kho cơ sở dữ liệu vật liệu độc quyền. Các kỹ sư linh hoạt xuất báo cáo định lượng và xem chi tiết hình ảnh đồ họa 3D khối phổ, đảm bảo kiểm soát chất lượng kịp thời theo quy trình khắt khe nhất.