Đặc điểm chính
- Kết hợp công nghệ đo kép: Tích hợp đồng thời ellipsometry và reflectometry để đặc tính hóa màng mỏng với độ chính xác cao ngay cả trên hệ thống lớp phức tạp.
- Hiệu suất vượt trội: Tốc độ xử lý cao lên tới 160 wafer mỗi giờ với hệ thống nạp liệu tự động, tối đa hóa năng suất sản xuất.
- Phân tích chuyên sâu: Khả năng đo Band Edge giúp xác định chính xác nồng độ Nhôm (Al) trong các lớp AlGaN.
- Loại bỏ nhiễu bề mặt: Khử bỏ hoàn toàn các lỗi do phản xạ từ mặt sau (backside reflection), đặc biệt hiệu quả trên wafer SiC.
- Tích hợp linh hoạt: Hỗ trợ chuẩn kết nối SECS/GEM, dễ dàng lắp đặt cho các dây chuyền sản xuất tự động hoặc phục vụ nghiên cứu R&D.
- Giao diện thân thiện: Tự động hóa các quy trình hiệu chuẩn và phân tích, giúp việc vận hành và bảo trì trở nên đơn giản, ít tốn công sức.
Mô tả chi tiết
Công nghệ & Nguyên lý hoạt động
LuXpector THEA sử dụng kết hợp phương pháp đo ellipsometry (đo sự thay đổi trạng thái phân cực của ánh sáng khi phản xạ) và reflectometry (đo cường độ phản xạ). Sự kết hợp này cho phép hệ thống phân tích đồng thời độ dày, chiết suất, hệ số hấp thụ và thành phần hóa học của các lớp màng mỏng. Thiết bị sử dụng nguồn sáng ellipsometer dải bước sóng 300–780 nm và reflectometer dải 400–1000 nm để đảm bảo dữ liệu đo lường tin cậy.
Trong sản xuất bán dẫn, việc kiểm soát các lớp màng mỏng phức tạp trên nhiều loại vật liệu (như SiC hay vật liệu hợp chất) thường gặp khó khăn do nhiễu phản xạ hoặc giới hạn độ nhạy của thiết bị. LuXpector THEA giải quyết triệt để các vấn đề này bằng cách loại bỏ nhiễu phản xạ mặt sau, đồng thời cung cấp khả năng phân tích nâng cao như xác định nồng độ Al trong AlGaN. Điều này giúp kỹ sư kiểm soát tốt quá trình lắng đọng (deposition) và ăn mòn (etching), từ đó giảm thiểu phế phẩm.
Tích hợp & mở rộng
Hệ thống được thiết kế cho sự linh hoạt tối đa, hỗ trợ các kích thước wafer phổ biến từ 200 mm đến 300 mm. Với các tùy chọn cassette đa dạng (Open cassette, SMIF, FOUP) và khả năng nạp liệu tự động, máy có thể vận hành độc lập trong phòng thí nghiệm hoặc tích hợp liền mạch vào các dây chuyền sản xuất lớn theo tiêu chuẩn tự động hóa công nghiệp.