Đặc điểm chính
- Điện cực đối (Counter electrode) thông minh: Áp dụng thiết kế định tuyến sẵn (pre-aligned) ngay từ bên ngoài buồng chân không, triệt tiêu nhu cầu căn chỉnh in-situ, tối giản hóa vận hành và không yêu cầu vật tư tiêu hao.
- Độ phân giải không gian siêu việt: Cung cấp bộ dữ liệu chụp cắt lớp 3D tiệm cận cấp nguyên tử, cho phép phát hiện đơn lẻ từng nguyên tử với hiệu suất thu thập xuất sắc.
- Độ nhạy phân tích tuyệt đối: Cung cấp mức độ nhạy đồng đều (equal sensitivity) đối với tất cả các nguyên tố hóa học và các đồng vị tương ứng của chúng.
- Phân tích định lượng mở rộng: Thực hiện đo đạc nồng độ nguyên tố chuẩn xác trên không gian trải rộng từ quy mô sub-nanomet (sub-nm) đến micromet.
- Hệ thống Laser UV 355 nm mạnh mẽ: Module phát xung laser tia cực tím được thiết kế theo tiêu chuẩn công nghiệp với chùm tia hội tụ tự động hóa 100%, linh hoạt mở rộng phạm vi nghiên cứu từ kim loại tới chất bán dẫn và gốm sứ.
Mô tả chi tiết
Kỷ nguyên mới của chụp cắt lớp dò nguyên tử (APT)
EIKOS-UV là hệ thống phân tích vật liệu mang tính đột phá của CAMECA, kế thừa 30 năm thành công của hãng và được thiết kế tối ưu hóa cho cả môi trường học thuật lẫn công nghiệp. Phiên bản tiêu chuẩn (EIKOS™) vận hành dưới chế độ xung điện áp (voltage mode) kết hợp cùng bộ phản xạ tĩnh điện (reflectron), mang lại năng lực phân giải khối lượng cực sắc nét cùng tỷ lệ tín hiệu trên nhiễu (signal-to-noise) hoàn hảo. Ở phiên bản cấu hình đầy đủ (EIKOS-UV™), hệ thống được trang bị thêm trạm phát xung laser 355 nm, giúp thiết bị dễ dàng bóc tách các lớp vật liệu phức tạp thành bản đồ 3D chuẩn xác bất kể mức độ dẫn điện của mẫu vật.
Mở khóa cấu trúc vi mô & Kỹ thuật ranh giới hạt
Trong quá trình phát triển hợp kim thương mại (Inconel, AlNiCo) hay tối ưu hóa vật liệu sản xuất bồi đắp (Additive Manufacturing), sự phân tách các tạp chất tại ranh giới hạt (grain boundary) tác động trực tiếp tới độ bền cơ học và từ tính của vật liệu. Việc quan sát định lượng các hiện tượng này ở quy mô nanomet là một rào cản lớn. EIKOS-UV phá vỡ hoàn toàn "điểm mù" đó bằng khả năng cô lập dữ liệu 3D, chỉ ra rõ các kết tủa tạp chất cực nhỏ (như vi hạt Nhôm, Niobi) và hiển thị sắc nét đường viền nồng độ pha. Thông qua đó, các kỹ sư dễ dàng hiểu rõ chu trình gia công nhiệt ảnh hưởng thế nào đến tính năng siêu hợp kim.
Nền tảng phân tích khép kín và tự động hóa
Hướng tới mục tiêu dễ dàng sử dụng, CAMECA cung cấp một chu trình khép kín từ chuẩn bị mẫu (với các bộ kít tiêu chuẩn hóa cho cắt bỏ chùm tia ion tập trung FIB và đánh bóng điện hóa) cho đến xuất báo cáo tự động. "Trái tim" phần mềm của hệ thống là nền tảng Atom Probe Control Center™ giao diện trực quan, kết hợp cùng phần mềm chuyên dụng AP Suite và IVAS. Mọi bộ dữ liệu đám mây điểm siêu lớn đều được phân tích mượt mà để trích xuất ngay lập tức các dạng phổ khối lượng 1D, đường viền nồng độ 2D hay cấu trúc không gian 3D mà không đòi hỏi thao tác xử lý dữ liệu trung gian phức tạp.