Đặc điểm chính
- Một scanner cho mọi thứ – XR scanner đạt dải quét XY 100 μm và Z 12 μm, quét từ cấp độ nguyên tử đến vi cấu trúc 100 μm mà không cần thay đầu dò.
- Tốc độ quét vượt trội – Nhiều mẫu có thể chụp ở tốc độ dòng ≥20 Hz (kích thước quét ≤10 μm), thời gian chụp ảnh điển hình <1 phút.
- blueDrive™ Tapping Mode độc quyền – Sử dụng kích thích quang nhiệt (640 nm) thay vì áp điện, tăng độ ổn định, giảm mòn đầu dò, giá trị độ nhám lặp lại cao ngay cả sau 1000 ảnh.
- Thiết lập tự động, dễ dùng – Căn chỉnh laser và detector bằng một cú click chuột (SpotOn), thay đầu dò nhanh trên scanner Z tháo rời. Bàn gắp mẫu 210 mm với chân không và nam châm, di chuyển toàn bộ wafer 200 mm chỉ trong 5 giây.
- Nhiều chế độ AFM có sẵn – Bao gồm Contact, Tapping, Phase, LFM, Force curves, Nanolithography, AM-FM Viscoelastic Mapping, Contact Resonance, Dual AC, Loss Tangent, EFM, KPFM, MFM, DART PFM, Switching Spectroscopy PFM, Vector PFM. Tùy chọn CAFM, Fast Force Mapping.
- Tích hợp metrology công nghiệp – Tự động hóa đo lường đa vị trí (multi-site) bằng MacroBuilder, hoàn thành mỗi vị trí trong ~1 phút. Cảm biến LVDT tuyến tính, không cần hiệu chuẩn lại, tin cậy cho các phép đo định lượng.
Mô tả chi tiết
Công nghệ & nguyên lý
Jupiter XR sử dụng công nghệ XR scanner tích hợp cả dải quét rộng (100 μm XY, 12 μm Z) và tốc độ cao nhờ cơ cấu flexure và cảm biến LVDT thế hệ mới (noise X/Y <150 pm, Z <35 pm). blueDrive Tapping Mode dùng diode laser 640 nm để kích thích quang nhiệt dao động của cantilever thay vì áp điện truyền thống, giúp ổn định biên độ và pha, giảm nhiễu, tăng độ lặp lại.
Hạn chế thông thường của AFM
AFM mẫu lớn (wafer 200 mm) thường đánh đổi độ phân giải / dải quét / tốc độ. Thiết lập AFM căn chỉnh thủ công tốn thời gian, cần kỹ thuật viên có kinh nghiệm. Mòn đầu dò ảnh hưởng đến đo độ nhám, metrology. Di chuyển vị trí trên wafer chậm, thiếu chính xác.
Ưu điểm của hệ thống Jupiter XR
- XR scanner quét từ 0,1 nm đến 100 μm chỉ một đầu dò; tốc độ dòng lên 20 Hz → ảnh 512 dòng trong 26 giây.
- SpotOn: căn chỉnh laser/detector một cú click. ModeMaster: tự động cấu hình chế độ. GetReal: hiệu chỉnh độ nhạy và hằng số lò xo không chạm mẫu.
- blueDrive giảm mòn đầu dò → độ nhám lặp lại sau 1000 ảnh.
- Bàn gắp mẫu 210 mm chân không, tốc độ 40 mm/s, di chuyển đến bất kỳ điểm nào trên wafer 200 mm trong 5 giây, độ chính xác micron.
Tích hợp & mở rộng
- Phụ kiện: gia nhiệt nhiệt độ cao, liquid cell (tương tự MFP-3D).
- Phần mềm MacroBuilder: tự động hóa hoàn toàn quy trình đo và phân tích ngoại tuyến, phù hợp QA/QC sản xuất.
- LVDT tuyến tính, không cần hiệu chuẩn lại.