Đặc điểm chính
- Đo kiểm wafer ở nhiệt độ cryogenic (< 2 K), cho phép đặc trưng hóa thiết bị trong điều kiện vận hành thực tế của chip lượng tử và mạch siêu dẫn.
- Hỗ trợ characterization cấp wafer (wafer-level testing), giúp đánh giá đồng thời nhiều thiết bị trên cùng một wafer, tăng hiệu suất R&D.
- Tối ưu cho nghiên cứu quantum computing, đặc biệt trong kiểm tra qubit siêu dẫn, resonator và quantum circuits.
- Hệ thống probe chính xác cao, đảm bảo tiếp xúc điện ổn định trong môi trường nhiệt độ cực thấp.
- Khả năng đo lường điện – RF tiên tiến, phù hợp cho các phép đo tần số cao và tín hiệu lượng tử.
- Thiết kế tích hợp cryogenic platform, giảm rung động và nhiễu nhiệt, đảm bảo độ chính xác đo lường.
- Hỗ trợ tự động hóa đo kiểm, nâng cao throughput cho nghiên cứu và phát triển công nghiệp quantum.
- Tương thích với nhiều loại wafer và thiết bị đo, linh hoạt trong cấu hình thí nghiệm.
Mô tả chi tiết
- Cryogenic Wafer Prober là hệ thống đo kiểm wafer ở nhiệt độ cryogenic (dưới 2 K), được thiết kế cho nghiên cứu và phát triển chip lượng tử và thiết bị siêu dẫn. Hệ thống cho phép đặc trưng hóa thiết bị ở cấp wafer trong điều kiện vận hành thực tế của quantum circuits.
- Thiết bị hỗ trợ các phép đo điện và RF chính xác cao, phục vụ kiểm tra qubit siêu dẫn, resonator và các cấu trúc quantum phức tạp. Nhờ khả năng wafer-level testing, hệ thống giúp tăng hiệu suất đo kiểm và rút ngắn thời gian phát triển thiết bị.
- Với nền tảng cryogenic ổn định, hệ thống đảm bảo độ chính xác đo lường cao, giảm nhiễu nhiệt và hỗ trợ tích hợp với các thiết bị đo hiện đại như VNA, RF source và DAQ systems.