Đặc điểm chính
- MicroXRF phòng thí nghiệm đạt được độ phân giải xuống đến vài micromet (3-5 µm) với hệ quang học độ phân giải cao.
- Độ nhạy dưới ppm cho định lượng xuống tới mức phần triệu (ppm).
- Tối đa hóa thông lượng và độ nhạy với tối đa 5 phổ tia X tới khác nhau.
- Cho phép thực hiện các lượt quét qua đêm mà không cần giám sát.
- Cung cấp khả năng tích hợp các kỹ thuật tương quan như Quang phổ Raman (Raman Spectroscopy).
Mô tả chi tiết
Công nghệ & Nguyên lý
Kính hiển vi huỳnh quang tia X (XRF), là một kỹ thuật mạnh mẽ, có khả năng phân giải không gian cao. Kỹ thuật này sử dụng một chùm tia siêu nhỏ quét trên bề mặt mẫu, kích thích các nguyên tử bên trong vật liệu. Sự kích thích tạo ra tia X đặc trưng, sau đó được xác định để phân tích thành phần nguyên tố mẫu.
Khả năng hiệu suất cao của AttoMap-310 được kích hoạt nhờ
các cải tiến được cấp bằng sáng chế của Sigray, bao gồm nguồn tia X được cấp
bằng sáng chế và hệ thống quang học tia X hai parabol hiệu suất cao. Thiết bị
cung cấp khả năng lập bản đồ hóa học nhanh chóng, không phá hủy với độ
phân giải vài micromet và thời gian xuống đến 5 mili giây mỗi điểm.
Kính hiển vi XRF độ phân giải cao trên thị trường
Huỳnh quang vi tia X (microXRF) là một kỹ thuật mang lại độ nhạy tuyệt vời cho phân tích thành phần, với độ nhạy thường gấp 1000 lần độ nhạy của quang phổ dựa trên điện tử (ppm so với ppt). Hạn chế chính đối với microXRF phòng thí nghiệm là kích thước điểm có thể đạt được, thường vào khoảng 20-50 µm. Sigray AttoMap đạt được độ phân giải xuống đến vài micromet một chữ số (3-5 µm) thông qua việc sử dụng quang học hội tụ tia X độc quyền của Sigray. Đem lại hiệu suất cao và tạo ra kích thước điểm nhỏ hơn nhiều so với thiết bị quang học đa mao mạch được sử dụng bởi các microXRF phòng thí nghiệm khác.
Độ nhạy dưới ppm (Sub-Femtogram)
AttoMap-200 đạt được độ nhạy với giới hạn phát hiện tuyệt đối ở mức sub-Femtogram và giới hạn phát hiện tương đối ở mức sub - ppm. Điều này cho phép kính hiển vi thu nhận phân bố nguyên tố vi lượng ở thông lượng tốt.
Khả năng điều chỉnh năng lượng cho thông lượng và độ nhạy cao
Trái ngược với các nguồn tia X khác chỉ giới hạn ở một vật liệu đích tia X duy nhất, thì AttoMap-200 cung cấp phần mềm dễ dàng lựa chọn tối đa 5 vật liệu đích, bao gồm các vật liệu đích đặc biệt như nguồn dựa trên silicon và nguồn dựa trên vàng, để đảm bảo độ nhạy tối ưu cho nhiều loại nguyên tố.
Phạm vi di chuyển lớn và chọn lọc
Bệ mẫu chắc chắn của AttoMap-200 có thể chứa các mẫu lớn hoặc nhiều mẫu (để quét tự động qua đêm). Các mẫu bao gồm: wafer 300mm và các mẫu lõi đá lớn.
Tích hợp/ Mở rộng
Không gian bên trong AttoMap-200 cho phép sửa đổi và nâng cấp, chẳng hạn như tích hợp Quang phổ Raman.
Phần mềm của AttoMap200 bao gồm: Phân tích tệp đơn và đa tệp, khớp và khử nhiễu phổ, triển khai mô hình tham số cơ bản (FP) để định lượng không cần chuẩn, tính toán phần trăm trọng lượng tương đối bằng mô hình FP, phân tích phổ, chồng ảnh quang học và huỳnh quang, ...