Đặc điểm chính
- Quả cầu tích phân và nguồn sáng tích hợp: Cho phép đo chính xác trong dải phổ rộng 380–1070 nm (mở rộng tùy chọn 360–1700 nm), đảm bảo nguồn sáng ổn định lâu dài nhờ kênh hiệu chuẩn nội bộ.
- Khả năng dung sai khoảng cách và góc nghiêng vượt trội: Chấp nhận sai lệch khoảng cách mẫu tới ±5 mm và góc nghiêng ±2°, giúp đo chính xác ngay cả trên các mẫu bị võng hoặc rung lắc mạnh trong quy trình cuộn (R2R).
- Thiết kế mô-đun linh hoạt (LITE, LAB, SCAN, INLINE): Đáp ứng đa dạng mọi nhu cầu từ đo bàn cố định trong phòng thí nghiệm (R&D) đến quét tự động động cơ hóa hoặc giám sát trực tiếp trên dây chuyền sản xuất (QC).
- Tốc độ đo và phân tích cực nhanh: Thu nhận phổ trong chưa đầy 0,1 giây mỗi điểm kết hợp thuật toán tính toán thông minh, cho phép đánh giá độ dày màng mỏng (5nm - 20µm) và hằng số n&k theo thời gian thực.
- Độ chính xác trắc quang cao (<0,4%): Giảm thiểu sai số đo phổ màu và màng nhiều lớp, mang đến dữ liệu tin cậy giúp cải tiến quy trình lắng đọng màng mỏng chân không (CVD, PVD) và màng ướt.
Mô tả chi tiết
Công nghệ phổ phản xạ và truyền qua tiên tiến
Metis xác định độ dày và hằng số quang học n&k màng mỏng dựa trên hiện tượng giao thoa phổ. Tích hợp quả cầu tích phân thông minh, thiết bị đo đồng thời phổ phản xạ và truyền qua trong chưa đầy 100 ms. Hệ thống duy trì độ ổn định lâu dài nhờ kênh hiệu chuẩn nội bộ, đạt độ chính xác trắc quang <0,4% (400–1000 nm).
Đo lường chính xác trên các bề mặt chuyển động và cong võng
Đối với màng cuộn (R2R) hay kính khổ lớn, hiện tượng rung lắc và cong võng mẫu thường gây sai số lớn cho các thiết bị đo thông thường. Metis khắc phục rào cản này nhờ dung sai định vị cực lớn: cho phép biến động khoảng cách tới ±5 mm và góc nghiêng ±2° mà không giảm độ chính xác, giúp kiểm soát chất lượng màng trực tiếp trên băng chuyền động.
Khả năng tùy biến và tích hợp hệ thống linh hoạt
Hệ thống cung cấp đa dạng cấu hình từ LITE (bàn mẫu cố định), LAB (bàn mẫu dịch chuyển), SCAN (bản đồ tự động) đến INLINE (đo trực tiếp trên dây chuyền). Metis hỗ trợ nâng cấp dải phổ mở rộng (360–1700 nm), tích hợp nhiều đầu đo đồng thời và giao tiếp trực tiếp với PLC nhà máy, tối ưu hóa quy trình phủ màng chân không hoặc phủ màng ướt.