Đặc điểm chính
- Đo lường đa lớp toàn diện: Xác định độ dày (2-500nm) và đặc tính quang phổ (n&k) cho mọi lớp vật liệu phủ hữu cơ và lớp ITO với độ lặp lại ấn tượng (3σ < 0.2nm).
- Phương pháp quang học RT độc quyền: Đảm bảo độ chính xác tuyệt đối nhờ thu thập và phân tích đồng thời phổ phản xạ (Reflectance) và truyền qua (Transmittance).
- Vận hành ổn định trong môi trường thực: Thiết kế R-head và T-head đặc biệt giúp triệt tiêu sai số do sự thay đổi chiều cao (± 1.5mm) và độ nghiêng (± 0.4°) của mẫu.
- Thiết kế không tiếp xúc an toàn: Thực hiện đo lường trực tiếp qua cửa sổ kính của dây chuyền, hoàn toàn không phá hủy và không làm gián đoạn chu trình sản xuất.
- Phân tích tốc độ cao (High Speed): Thu thập dữ liệu độ dày siêu nhanh (≤ 1.0 giây/điểm), hỗ trợ mở rộng với hệ thống ghép kênh sợi quang từ 1 đến 9 vị trí đo linh hoạt.
- Tự động hóa quy trình tối đa: Tích hợp I/O để tự động kích hoạt (Auto-triggering) và hiệu chuẩn nội bộ, hỗ trợ giám sát và ghi nhận 100% dữ liệu sản xuất liên tục.
Mô tả chi tiết
Công nghệ quang học RT tối ưu cho sản xuất OLED
Khác với các ứng dụng thông thường, sản xuất đi-ốt phát quang hữu cơ (OLED) yêu cầu độ chuẩn xác khắt khe mà không có biên độ cho hàng "loại B". Xelas INLINE-oled giải quyết triệt để bài toán này bằng công nghệ đo quang học RT (phản xạ và truyền qua) độc quyền. Thông qua việc phân tích hiện tượng giao thoa ánh sáng và sự thay đổi biên độ sóng khi đi qua các lớp màng mỏng, kết hợp cùng thuật toán mô hình dao động thông minh, thiết bị nhanh chóng xác định chính xác độ dày và chỉ số khúc xạ, hấp thụ n&k ngay cả khi xét đến độ nhám của bề mặt.
Vượt qua rào cản đo lường nội tuyến thực tế
Sự biến thiên về độ cao và độ nghiêng của nền mẫu (substrate) khi di chuyển tốc độ cao trên dây chuyền thường là rào cản lớn gây sai số đối với các thiết bị đo. Đầu dò quang học của Xelas INLINE-oled được chế tác riêng biệt nhằm duy trì sự ổn định tuyệt đối của giá trị phổ đo trước dung sai vị trí mẫu lên tới ± 1.5mm và độ nghiêng ± 0.4°. Bên cạnh đó, việc thu thập dữ liệu diễn ra liên tục, an toàn và hoàn toàn không phá hủy nhờ vào cấu trúc cho phép đo đạc xuyên qua lớp cửa sổ kính của buồng sản xuất, giúp bảo vệ môi trường chân không tuyệt đối.
Tích hợp hệ thống và kiểm soát chất lượng mạnh mẽ
Với bộ ghép kênh (Multiplexer) hỗ trợ mở rộng từ 1 đến 9 kênh đo độc lập, Xelas INLINE-oled dễ dàng đáp ứng mọi yêu cầu giám sát đa điểm cho cấu hình dây chuyền ở cả hiện tại và tương lai. Hệ thống báo cáo dữ liệu theo thời gian thực giúp đưa ra các phản hồi tức thì về những sai lệch độ dày hay thay đổi đặc tính vật liệu. Nhờ đó, các nhà sản xuất màn hình và chiếu sáng OLED dễ dàng tối ưu hóa tỷ lệ thành phẩm (yield) và ổn định quy trình một cách hiệu quả nhất.