Đặc điểm chính
Buồng chân không bằng thép không gỉ 304L 58 lít: Tạo môi trường lắng đọng màng mỏng siêu sạch, bền bỉ và tối ưu hóa hiệu suất áp suất chân không.
Cơ chế cửa lật Pendulum bằng nhôm 6061: Tiết kiệm tối đa diện tích mở buồng mẫu và giúp thao tác nạp/dỡ mẫu diễn ra nhanh chóng, an toàn.
Tích hợp linh hoạt đa nguồn lắng đọng: Cho phép kết hợp linh hoạt giữa phún xạ Magnetron Torus®, bốc hơi nhiệt và các nguồn hữu cơ LTE.
Hệ thống bơm turbo tiêu chuẩn 260 l/s: Hỗ trợ tốc độ xả khí cực nhanh để thiết bị sớm đạt được mức áp suất nền lý tưởng.
Hệ thống điều khiển PC-Based HMI: Tự động hóa toàn bộ quy trình vận hành trực quan qua màn hình cảm ứng và hỗ trợ ghi lại dữ liệu chính xác.
Mô tả chi tiết
NANO 36 vận hành theo nguyên lý lắng đọng hơi vật lý (PVD). Thiết bị sở hữu buồng chân không dung tích 58 lít chế tạo từ thép không gỉ 304L, kết hợp với bơm vi mô Turbo tốc độ 260 l/s để duy trì môi trường áp suất nền sạch. Hệ thống tích hợp linh hoạt các nguồn phún xạ Magnetron Torus®, bốc hơi nhiệt hoặc LTE nhằm phủ các lớp màng mỏng kim loại, điện môi hoặc vật liệu hữu cơ lên bề mặt đế mẫu.
Các phòng thí nghiệm thường thiếu không gian cho các hệ thống PVD công nghiệp cỡ lớn, nhưng các thiết bị cỡ nhỏ thông thường lại không đáp ứng được độ chính xác của màng phủ. NANO 36 giải quyết vấn đề này nhờ cấu trúc để bàn nhỏ gọn nhưng giữ nguyên thông số kỹ thuật cao: khả năng gia nhiệt đế đến 800°C và hệ thống kiểm soát tự động PC-Based HMI. Thiết lập này loại bỏ sai số do thao tác thủ công, đảm bảo độ đồng đều và lặp lại chính xác cao.
Hệ thống cho phép kết nối trực tiếp với tủ thao tác găng tay (glovebox) nhằm bảo vệ các mẫu nhạy cảm với không khí và độ ẩm. Thiết kế mô-đun linh hoạt hỗ trợ cấu hình đồng thời lên tới 3 nguồn phún xạ Torus®, tích hợp thêm cảm biến đo độ dày màng bằng thạch anh (QCM) và bộ điều khiển dòng khối (MFC) khí nạp để phục vụ các nghiên cứu chuyên sâu về bán dẫn hoặc pin mặt trời.