Đặc điểm chính
- MicroXRF phòng thí nghiệm có độ phân giải cao trong phòng thí nghiệm đạt được độ phân giải xuống đến vài micromet (3-5 µm)
- Độ nhạy dưới ppm cho định lượng xuống tới mức phần triệu (ppm)
- Tối đa hóa hiệu suất và độ nhạy nhờ tối đa 5 phổ tia X tới khác nhau
- Đạt khả năng chụp ảnh ở góc nông cho các mẫu mỏng (VD: Mẫu sinh học) và/hoặc loại bỏ nhiễu xạ.
- Cho phép quét qua đêm không cần giám sát. Cung cấp khả năng tích hợp các kỹ thuật tương quan như Quang phổ Raman…
Mô tả chi tiết
Công nghệ & Nguyên lý
Kính hiển vi huỳnh quang tia X (XRF), là một kỹ thuật mạnh mẽ, có khả năng phân giải không gian cao. Kỹ thuật này sử dụng một chùm tia siêu nhỏ quét trên bề mặt mẫu, kích thích các nguyên tử bên trong vật liệu. Sự kích thích tạo ra tia X đặc trưng, sau đó được xác định để phân tích thành phần nguyên tố mẫu.
Khả năng hiệu suất cao của AttoMap-310 được kích hoạt nhờ
các cải tiến được cấp bằng sáng chế của Sigray, bao gồm nguồn tia X được cấp
bằng sáng chế và hệ thống quang học tia X hai parabol hiệu suất cao. Thiết bị
cung cấp khả năng lập bản đồ hóa học nhanh chóng, không phá hủy với độ
phân giải vài micromet và thời gian xuống đến 5 mili giây mỗi điểm.
Kính hiển vi XRF độ phân giải cao trên thị trường
Huỳnh quang vi tia X (microXRF) là một kỹ thuật mang lại độ nhạy tuyệt vời cho phân tích thành phần, với độ nhạy thường gấp 1000 lần độ nhạy của quang phổ dựa trên điện tử (ppm so với ppt). Hạn chế chính đối với microXRF phòng thí nghiệm là kích thước điểm có thể đạt được, thường vào khoảng 20-50 µm. Sigray AttoMap đạt được độ phân giải xuống đến vài micromet một chữ số (3-5 µm) thông qua việc sử dụng quang học hội tụ tia X độc quyền của Sigray. Đem lại hiệu suất cao và tạo ra kích thước điểm nhỏ hơn nhiều so với thiết bị quang học đa mao mạch được sử dụng bởi các microXRF phòng thí nghiệm khác.
Độ nhạy dưới ppm (Sub-Femtogram)
AttoMap-310 đạt được độ nhạy chưa từng có, với giới hạn phát hiện tuyệt đối ở mức sub-Femtogram và giới hạn phát hiện tương đối ở mức sub - ppm. Điều này cho phép kính hiển vi thu nhận phân bố nguyên tố vi lượng ở thông lượng tốt. Độ chính xác và tốc độ của hệ thống là lý do tại sao AttoMap đã được các công ty bán dẫn hàng đầu áp dụng để giám sát các quy trình liên quan đến tạp chất cấp độ vết.
Khả năng điều chỉnh năng lượng cho thông lượng và độ nhạy cao
Trái ngược với các nguồn tia X khác chỉ giới hạn ở một vật liệu đích tia X duy nhất, thì AttoMap-310 cung cấp phần mềm dễ dàng lựa chọn tối đa 5 vật liệu đích, bao gồm các vật liệu đích đặc biệt như nguồn dựa trên silicon và nguồn dựa trên vàng, để đảm bảo độ nhạy tối ưu cho nhiều loại nguyên tố.
Tích hợp/ Mở rộng:
Tích hợp bệ đo góc cho phép điều chỉnh nhiều góc chiếu khác nhau, từ góc chiếu vuông góc (90 độ) đến góc chiếu gần như xiên (3 độ). Đối với các mẫu mỏng chất lượng hình ảnh có thể được cải thiện đáng kể ở các góc chiếu tia X nông hơn do thể tích tương tác tia X tăng lên và nhiễu nền giảm đáng kể. Đối với các mẫu tinh thể (ví dụ: silicon wafers), các đỉnh nhiễu xạ có thể được loại bỏ hoàn toàn.