Đặc điểm chính
- Công nghệ quang học điện tử “super tunnel” giảm thiểu hiệu ứng tích điện không gian, đảm bảo hiệu suất độ phân giải điện áp thấp.
- Thấu kính tổ hợp điện từ & tĩnh điện giúp giảm quang sai, cải thiện đáng kể độ phân giải ở điện áp thấp và cho phép quan sát các mẫu từ tính.
- Cột chùm ion hội tụ với độ phân giải 3 nm @ 30 kV, độ ổn định 72 giờ vận hành liên tục không gián đoạn.
- Nano-Manipulator được lắp đặt bên trong buồng, kích thước bước ≤ 10 nm và tốc độ chuyển động tối đa là 2 mm/s
- Hệ thống chuyển đổi khẩu độ đa lỗ biến đổi bằng cách lệch chùm tia điện tử tự động chuyển đổi giữa các khẩu độ mà không cần chuyển động cơ học cho phép chuyển đổi nhanh giữa các chế độ chụp ảnh khác nhau.
Mô tả chi tiết
Nguyên lý & Công nghệ:
CIQTEK DB550 là hệ thống hoạt động dựa trên sự kết hợp giữa kính hiển vi điện tử quét phát xạ trường và cột chùm ion hội tụ Gallium. Trọng tâm công nghệ là hệ quang học SuperTunnel với đường truyền electron không có điểm giao cắt, kết hợp với thấu kính hỗn hợp điện - từ trường được làm mát bằng nước ổn định nhiệt, giúp triệt tiêu tối đa các quang sai và tối ưu mật độ chùm tia.
Chùm ion Ga⁺ ổn định và hệ thống khóa mẫu Specimen Exchange Loadlock
Trong nghiên cứu chip bán dẫn tiên tiến, việc chuẩn bị mẫu mỏng đạt chuẩn cho kính hiển vi điện tử truyền qua cực kỳ khó khăn do mẫu dễ bị phá hủy cấu trúc hoặc nhiễm tạp chất, nhiễm từ tính, và tích điện cục bộ dưới chùm tia. CIQTEK DB550 giải quyết triệt để bài toán này nhờ chùm ion Ga⁺ ổn định và hệ thống khóa mẫu Specimen Exchange Loadlock tương thích 8 inches.
Thấu kính mục tiêu hỗn hợp điện từ và tĩnh điện
Thấu kính compound phi từ tính cho phép xử lý và phân tích mặt cắt đối với cả vật liệu có từ tính hay phi dẫn điện mà không làm méo ảnh. Kết hợp với đầu dò Scanning Transmission Electron Microscopy (STEM) tùy chọn, thiết bị cho phép chụp ảnh trường sáng (STEM-BF) và trường tối (STEM-DF) các lớp thiết bị vi mạch để thực hiện phân tích lỗi chính xác.
Tích hợp, mở rộng
- Hệ thống tích hợp bộ điều khiển nano (Nano-manipulator) với kích thước bước ≤ 10nm.
- Các chức năng chụp ảnh và xử lý hình ảnh được tích hợp trong một giao diện người dùng tổng thể, với các hình ảnh tham khảo so sánh được hiển thị ở bên trái và bên phải.