Đặc điểm chính
- Độ phân giải chiều sâu vượt trội: Chế độ vận hành nguồn ion ở mức năng lượng va chạm thấp (500 eV đối với O2+) giúp phân tích chi tiết bề mặt cấy ghép nông và cấu trúc màng mỏng với độ nhạy tối ưu.
- Tự động hóa thông lượng cao: Khoang lưu trữ có động cơ tự động thay đổi tới 6 khay mẫu, kết hợp thao tác truyền tự động, cho phép thiết lập phân tích đo chuỗi không cần giám sát.
- Khả năng tạo ảnh ion 3D (3D Ion Imaging): Thu nhận chuỗi hình ảnh phân bố nguyên tố liên tục theo chiều sâu và tái tạo lại cấu trúc 3D siêu hiển vi thông qua phần mềm WinImage mạnh mẽ.
- Hệ thống kép nguồn ion O2+ và Cs+: Cung cấp tốc độ phún xạ nhanh nhạy với cả hai chế độ phân tích gốc ion thứ cấp mang điện tích âm và điện tích dương.
- Bù điện tích tự động bằng súng NEG: Súng điện tử tới vuông góc (NEG) loại bỏ hiệu ứng dồn tụ điện tích bề mặt, đảm bảo đo lường dễ dàng, chính xác trên mọi vật liệu cách điện như thủy tinh, gốm.
- Phần mềm khu vực lưới (Checkerboard): Tùy chỉnh vùng phân tích để loại bỏ các ảnh hưởng nhiễu ở viền hố phún xạ (crater edge effects), giúp cải thiện chất lượng tín hiệu theo chiều sâu một cách đột phá.
Mô tả chi tiết
Công nghệ khối phổ hội tụ kép tiên tiến
Được kế thừa và phát triển từ hệ thống danh tiếng của CAMECA, IMS 7f-Auto ứng dụng công nghệ khu vực từ tính hội tụ kép (magnetic sector double focusing) với khả năng chuyển đổi đỉnh khối lượng (peak switching) siêu nhanh. Cấu trúc quang học ion độc đáo kết hợp cùng hệ thống phát hiện có dải động học mở rộng (10 decades) giúp công cụ luôn duy trì độ ổn định chùm tia cao nhất. Nhờ vậy, thiết bị mang lại độ nhạy phân tích nguyên tố và đồng vị không có đối thủ trên thị trường, với giới hạn phát hiện vết trải dài từ ppm xuống tận mức siêu vết ppb.
Định lượng độ sâu không nhiễu cho vật liệu phức tạp
Trong ngành bán dẫn hay sản xuất thiết bị LED và pin quang điện, việc xác định chính xác sự phân bố không gian của các tạp chất hay chất kích tạp (dopants) ở mức vi mô luôn là rào cản rất lớn. IMS 7f-Auto giải quyết triệt để điểm nghẽn này với cơ chế bù điện NEG dành cho màng cách ly, và môi trường chân không siêu cao (UHV) cho phép loại trừ nhiễu phân tích các nguyên tố nhẹ khắt khe như Hydro, Carbon, Nitơ, Oxy. Hơn thế nữa, tính năng Checkerboard tích hợp sẵn còn tối ưu hóa bề mặt tính toán sâu, cung cấp dữ liệu phân tích có tính đại diện tuyệt đối so với các kỹ thuật hiển vi quang phổ thông thường.
Năng lực phân tích chuỗi tự động quy mô công nghiệp
Để thỏa mãn chuẩn mực năng suất khổng lồ, IMS 7f-Auto được tái thiết kế với khoang mẫu có động cơ chứa sẵn 6 đế mẫu 1-inch, hỗ trợ cơ chế nạp/dỡ tải đa điểm từ xa. Dưới sự điều phối của bộ ứng dụng tiên tiến, các quy trình từ căn chỉnh bộ thu, tinh chỉnh khẩu độ liên kết hình ảnh đến tính toán chuỗi khối lượng được tự động kích hoạt tuần tự. Bất kể hoạt động độc lập xuyên đêm (24h/ngày), hệ thống vẫn duy trì sự xuất sắc về độ tái lập hình thái liều lượng (Dose reproducibility đạt RSD < 0.5%), giải phóng nhân sự kỹ thuật khỏi sự can thiệp thủ công.