VEpioneer® MACRO là hệ thống kiểm tra bằng tầm nhìn siêu phổ (Hyperspectral Vision) để bàn, tích hợp đầy đủ và vận hành chỉ với một nút bấm. Thiết bị cung cấp khả năng kiểm tra không phá hủy, xác định các đặc tính bề mặt, phát hiện màng mỏng và nhận diện sai lệch so với tiêu chuẩn sản xuất với tốc độ quét cực nhanh.

VEreveal® kết hợp độc đáo giữa quang phổ quang học và công nghệ hình ảnh siêu phổ (hyperspectral) để kiểm tra bề mặt không phá hủy. Thiết bị cho phép đánh giá toàn diện các thuộc tính vật liệu, độ dày lớp phủ và phát hiện khuyết tật, nhiễm bẩn trên wafer lên đến 300mm với độ chính xác cao và tốc độ nhanh, phù hợp cho kiểm soát chất lượng sản xuất.