Dòng PlasmaPro của Oxford Instruments cung cấp các nền tảng xử lý plasma linh hoạt từ R&D đến sản xuất khối lượng lớn, bao gồm các công nghệ RIE, ICP, ICP CVD, PECVD và RIE/PE kết hợp. Hỗ trợ wafer từ mảnh nhỏ đến 300mm, kiểm soát ứng suất màng bằng tần số kép (LF/HF), phát hiện điểm kết thúc bằng OES/laser. Giải pháp tối ưu cho MEMS, cảm biến, quang tử, LED, vi điện tử công suất và phân tích thất bại.

Danh mục sản phẩm của SPECS đã được mở rộng với dòng hệ thống quang phổ XPS ProvenX, đại diện cho đỉnh cao từ nền tảng kiến thức rộng lớn của chúng tôi trong việc phát triển và sản xuất các hệ thống phân tích toàn diện nhằm đáp ứng những yêu cầu khoa học khắt khe nhất. ProvenX bao gồm một loạt các hệ thống XPS chuyên dụng cho ARPES, µ-ARPES, Kính hiển vi động lượng (Momentum Microscopy), XPS/UPS cũng như NAP-XPS.

Hệ thống PRO Line PVD 200 nâng tầm năng suất nghiên cứu với khả năng xử lý wafer cỡ lớn lên đến 8 inch. Hệ thống là giải pháp hoàn hảo giúp bạn rút ngắn thời gian thử nghiệm, tạo ra lớp màng mỏng đồng đều tuyệt đối cho các ứng dụng công nghiệp tương lai.

EnviroESCA của SPECS là hệ thống quang phổ electron phân tích hóa học trong điều kiện môi trường thực tế nhờ công nghệ (N)AP-XPS đột phá. Thiết bị hoạt động ở áp suất lên tới hàng trăm mbar, tích hợp nguồn tia X đơn sắc Al $K_\alpha$ micro-focused và Environmental Charge Compensation giúp khử nạp nền tự động. EnviroESCA rút ngắn tối đa thời gian từ nạp đến đo mẫu, lý tưởng cho nghiên cứu vật liệu sinh học, polyme, pin, xúc tác và chất lỏng

QuantumLeap là hệ thống quang phổ hấp thụ tia X (XAS) tiên tiến với hai chế độ truyền qua và huỳnh quang. Hệ thống có dải năng lượng rộng từ 4,5 đến 25 keV và là XAS duy nhất trong phòng thí nghiệm có hiệu suất tương đương Synchrotron mang lại hiệu quả ngay tại phòng thí nghiệm, giải pháp cho lĩnh vực Pin và nhiên liệu, chất xúc tác, nghiên cứu về các nguyên tố nặng...

Hệ thống XAS đầu tiên có khả năng phân tích mẫu có số nguyên tử thấp và phân tích điểm siêu nhỏ. Cho phép đo XANES ở mức 0,7 eV và EXAFS trong vòng vài giây hoặc vài phút. MicroXAS với kích thước điểm 100 micron với bệ mẫu di chuyển tự động cho phép lập bản đồ XAS ở độ phân giải 100 µm trên một mẫu. Là giải pháp hàng đầu cho nghiên cứu pin, xúc tác và khoa học vật liệu.

SPECS EnviroMETROS là thế hệ hệ thống XPS đo lường bề mặt (Surface Hybrid Metrology) mang tính cách mạng, được thiết kế chuyên dụng cho việc phân tích thành phần hóa học theo chiều sâu của màng mỏng từ quy mô phòng thí nghiệm đến nhà máy sản xuất bán dẫn. Hệ thống tích hợp cốt lõi kỹ thuật quang phổ ảnh điện tử tia X phân giải góc (ARXPS) tự động hóa hoàn toàn, kết hợp linh hoạt đa nguồn năng lượng tia X và khả năng vận hành trong dải áp suất cực rộng từ chân không siêu cao (UHV) đến cận áp suất khí quyển (NAP). Đây là giải pháp tối ưu để phân tích cấu trúc lớp và đặc tính vật liệu mà không phá hủy mẫu.

KDF In-Line PVD Solutions (thuộc tập đoàn Kurt J. Lesker) là dòng thiết bị phún xạ màng mỏng theo mẻ liên tục (batch in-line) tiên tiến, sở hữu độ tin cậy cơ khí vượt trội cùng chi phí sở hữu (CoO) thấp nhất trong ngành công nghiệp. Khác với các hệ thống dạng cụm (cluster tools) cồng kềnh, cấu trúc phân làn liên tục của KDF giúp tối ưu hóa không gian, đơn giản hóa quy trình vận hành và bảo trì, đồng thời mang lại bước nhảy vọt về độ đồng đều của màng phủ, sản lượng đầu ra và độ ổn định quy trình. Hệ thống được thiết kế linh hoạt, đáp ứng hoàn hảo từ quy mô nghiên cứu phát triển (R&D) cho đến sản xuất công nghiệp khối lượng lớn trong các lĩnh vực bán dẫn, vật liệu mới, thiết bị y tế và màn hình phẳng.