Những lưu ý khi chúng ta chuẩn bị mẫu thí nghiệm cho kính SEM:
Khi sử dụng kính hiển vi SEM chúng ta cần phải tuyệt đối tuân thủ theo đúng yêu cầu về mẫu và chân không dựa theo các nguyên lý sau:
- Mẫu phải đảm bảo sạch đến mức tối đa có thể. Mọi nhiễm bẩn từ mẫu đều có thể làm hư hại hệ thống chân không của kính dẫn đến giảm hiệu quả sử dụng sau này.
- Các mẫu không dẫn điện phải được quan sát ở chế độ chân không thấp hoặc ESEM. Chỉ được quan sát ở chân không cao khi đã phủ mẫu. Việc dùng sai có thể làm bẩn buồng chân không.
- Các mẫu ướt, mẫu bẩn, mẫu hữu cơ (dầu/chất béo),các mẫu có khả năng sinh khí, bay hơi chỉ được sử dụng ở chế độ ESEM và phải tuân thủ yêu cầu chuẩn bị mẫu nghiêm ngặt như bên dưới
- Các mẫu bột phải đảm bảo gắn chắc chắn với keo dính, loại bỏ hoàn toàn các hạt tự do trước khi đưa vào buồng mẫu.
- Luôn sử dụng gang tay sạch, các dụng cụ sạch khi tiếp xúc với mẫu và các phụ kiện trong buồng mẫu của SEM
- Không chạm tay trần, thổi mẫu bằng miệng hoặc thổi/thở vào trong buồng mẫu vì các chất hữu cơ sẽ làm bẩn mẫu và buồng mẫu.
- Không đưa giá mẫu trong buồng kính hiển vi ra ngoài để chuẩn bị mẫu. Cần chuản bị trên một giá mẫu riêng bên ngoài.
- Các dụng cụ tiếp xúc nên thường xuyên được rửa sạch bằng siêu âm rồi làm khô khi bảo quản.
- Mẫu khi gắn phải đảm bảo chặt, không để chân không buồng mẫu hút bay gây nguy hại cho kính.
- Ngoài chân không, lựa chọn chất nền, keo gắn mẫu, phương pháp chuẩn bị mẫu và thế gia tốc là rất quan trọng.
CHUẨN BỊ MẪU
Mẫu cho SEM bao gồm tất cả các loại, hình dạng và kích cỡ khác nhau. Kỹ thuật chuẩn bị do đó phải được đặt ra để thực hiện được với tất cả sự khác nhau từ các mẫu hoàn hảo đến các mẫu phức tạp. Các vấn đề chúng ta phải thường xuyên phải đối mặt là các yếu tố sau:
Tạo mẫu
Các mẫu hầu hết yêu cầu phải cắt/phá hủy mẫu. Do đó cần phải tìm một kỹ thuật tương thích với tính chất của vật liệu mẫu. Đầu tiên chúng ta có thể chia thành hai nhóm vật liệu kim loại và các phi kim loại.
Mẫu kim loại
Kim loại thường được cắt nhỏ bằng máy cắt cơ học chính xác. Mỗi một loại vật liệu cần được cắt ở các chế độ khác nhau. (Xem thêm phần lựa chọn máy cắt, lưỡi cắt trong file trình bày riêng chuẩn bị mẫu kim tương).
Các mặt cắt phản ánh bản chất của mẫu do đó nó cần được chuẩn bị một cách rất cẩn thận để tạo ra một mặt cắt chi tiết, đặc trưng cho mẫu nghiên cứu.
Trong phòng thí nghiệm một mẫu nhỏ có thể được cắt từ thép bằng nhát cắt chính xác, đôi khi có thể sử dụng bằng bẻ gãy sau khi làm đông cứng với ni tơ lỏng. Các hợp kim có tính đàn hồi lớn thì có thể cần làm mát trong nitơ lỏng trước xử lý gây sốc để tạo mẫu.
Mẫu phi kim loại
Nhóm này bao gồm nhựa, gốm sứ, và các vật liệu hữu cơ. Có rất nhiều các kỹ thuật khác nhau cho dòng vật liệu phức tạp này, nhưng một nguyên tắc chung là tạo mẫu tốt nhất nên được thực hiện ở nhiệt độ thấp.
Nhựa, thường có thể dễ dàng bẻ gãy bằng cách ngâm trong nitơ lỏng và bẻ gẫy khi ở ở nhiệt độ thấp.
Một số mẫu gốm/sứ không phải là dễ dàng bị bẻ gẫy ở nhiệt độ thấp. Chúng có tính chất đàn hồi cao, do đó sau ngâm nitơ lỏng vẫn phải tác động một lực va chạm để bẻ gẫy. Số còn lại có thể bẻ gẫy với các tác động nhỏ hơn và có thể không cần nhiệt độ thấp như là tấm silicon chẳng hạn.
Vật liệu hữu cơ cần được chuẩn bị kỹ hơn và chú ý đến chi tiết các tác động có thể gây hư hại lên định dạng và các cấu trúc của mẫu. Vì thế mà có thể phải cần đến các thiết bị chuẩn bị mẫu đặc biệt trong nhiệt đột thấp gọi là Cryo-SEM. Đây là một phương pháp làm đông mẫu trong một buồng ni tơ lỏng sau đó được chuyển đến một giá mẫu gắn trên cổng của buồng kính SEM. Tại đây, mẫu có thể được bẻ gãy, và, hoặc thậm chí được phủ mẫu trước khi đưa vào buồng mẫu quan sát. Các mẫu điển hình bao gồm: thực phẩm, mô thực vật và động vật, chất bán rắn (chất béo / dầu).
Cắt mẫu
Theo phương pháp này, cần chia thành các vật liệu cứng và mềm để phân biệt sự khác biệt giữa các phương pháp đánh bóng hoặc cắt để tạo ra một bề mặt thể hiện chi tiết cấu trúc bên trong của mẫu.
Mẫu cứng:
- Mặt cắt ngang
Các vật liệu cứng thường là vật liệu tổng hợp, tức là các sản phẩm thương mại hoặc các vật liệu chuyên dụng, chẳng hạn như kim loại, đá, gốm sứ và thủy tinh. Một số có thể được đúc trong nhựa (resin, epoxy,.. hoặc Bakelite), ví dụ như kim loại để xử lý dễ dàng khi cắt và đánh bóng. Đúc mẫu trong resin là phương pháp phổ biến cho các mẫu đá để đám bảo loại bỏ hết khí, nước hoặc dầu trong mẫu trước khi cắt và đánh bóng.
- Chuẩn bị bề mặt
Phương pháp cắt có thể được sử dụng bằng đĩa cắt hoặc lưỡi cắt kim cương. Các mẫu kim loại là thường chỉ cần đánh bóng bề mặt từ ghồ ghề thành một mặt phẳng mịn bằng cách sử dụng các dạ đánh bóng với các hạt kim cương kích thước xuống đến 1/4 micron. Các mẫu đá cần một quá trình mài sau cắt và trước khi đánh bóng bởi các vải thủy tinh với bột carborundum. Sau đó đánh bóng một lần nữa với bột kim cương 1 hoặc 1/4 micron. Mặc dù tất cả điều này có thể được thực hiện bằng tay, nhưng máy tự động giúp giảm bớt nhân công và thường cho mặt phẳng chính xác hơn mài đánh bóng bằng tay.
Đánh bóng điện hóa kim loại có lợi thế khác, bởi vì đây là kỹ thuật ăn mòn một số kim loại để tạo ra một bề mặt với các phân bố cấp nguyên tử, sạch và hiển thị rõ các phân bố pha trên đó.
Đánh bóng bằng ion cũng có thể cung cấp các bề mặt chi tiết cấp nguyên tử, sạch nhưng quan trọng là thiết bị phải chụp được các chi tiết nhỏ trên đó.
Sự cần thiết cần có một bề mặt phẳng thường là để cho phân tích WDS hơn là EDX, sau đó là cần thiết cho các phân tích các thành phần pha khác nhau trên bề mặt bởi tín hiệu BSE. Một số mẫu cần thiết cho phân tích huỳnh quang cathode (CL) với các nguyên tố phát sáng trắng.
Các vật liệu tổng hợp có thành phần rất phức tạp và chính xác. Phương pháp tốt nhất được phát hiện cho đến nay mà đảm bảo thành phần không bị bị xáo trộn là sử dụng sợi cắt kim cương. Đây là một dây vonfram với kim cương được phủ ngoài. Sợi kim cương được quay đều bởi hai ống suốt ở hai đầu. Dây kim cương sẽ được vắt ngang quan mẫu tại vị trí cắt. Nước làm mát dùng để bôi trơn và cũng làm sạch dây. Phương pháp này cs thể được dùng rất tốt cho một số vật liệu mà không cần phải mài hoặc đánh bóng tiếp sau đó.
Mẫu mềm:
Cắt ngang hoặc tạo lát mỏng Mẫu trước khi cắt đòi hỏi phải được cung cấp thông tin đầy đủ hai yêu cầu sau để đảm bảo thành công. Đó là độ cứng và độ rắn để lựa chọn lưỡi cắt kim loại hoặc lưỡi cắt kim cương. Nếu không bề mặt cắt có thể bị dinh các hạt từ vật liệu đúc hoặc vật liệu làm lưỡi cắt. Do đó, biết trước được độ cứng của mẫu là cần thiết để đảm bảo mẫu không bị biến đổi bề mặt hay nhiễm các thành phần khác trên bề mặt đặc biệt là khi đi phân tích tia X.
Những kỹ thuật cắt này thường được gọi là máy vi cắt (microtome). Với cấp độ macro là lưỡi cắt kim loại hoặc kim cương còn với cấp micro thì sử dụng dao cắt kim cương. Phương pháp cắt macro có thể được sử dụng trên các vật liệu tổng hợp, vật liệu nhúng, nhựa, sơn, cao su, gỗ và giấy.
Máy siêu cắt Untra-microtomy là một kỹ thuật sử dụng cho TEM, mà cho SEM cũng có thể được sử dụng trong trường hợp chuẩn bị các mẫu kim loại nặng (Os/Pd/U) mà được gắn trên các mẫu sinh học.
Phương pháp cắt bằng đông sâu thông thường ít được sử dụng trong TEM ngoại trừ các vật liệu polymer mà có các thành phần có độ cứng khác nhau mà cần phải kiểm tra. Với kỹ thuật này, bền mặt cắt khá phẳng, ít gồ ghề và không ảnh hưởng đến kết quả.
Một phương pháp cắt khác, mặc dù hơi thô nhưng hiệu quả, là sử dụng dao mổ. Phương pháp này có thể được sử dụng khi kết quả phân tích và hình ảnh là không hoàn toàn phụ thuộc vào bề mặt hoặc thành phần trên tín hiệu BSE.
Mẫu phân tán.
Đây là loại mẫu chuẩn bị khó khăn nhất để đảm bảo một cách chính xác cao trên một chất nền hoặc lớp phủ kim loại. Các quan sát thu được thường cần phải loại trừ khả năng tích điện của nhựa đúc mẫu, phân biệt vùng sáng, tối do tích điện bề mặt cũng như độ trôi của hình ảnh.
Loại mẫu này có thể được chia thành hai loại cho đơn giản bao gồm các chất phân tán ướt (trong huyền phù) và phân tán khô (bột / sợi).
- Phân tán ướt: Huyền phù
Polyme, sơn và các thành phần sinh học là các mẫu chính trong nhóm này. Bản chất của kỹ thuật sẽ phụ thuộc vào mật độ huyền phù, kích thước của các vật liệu trong đó, và quan trọng là tách các hạt riêng biệt, tránh để chồng lên nhau. Có những phương pháp riêng để chuẩn bị cho mẫu sinh học, tùy thuộc vào tầm quan trọng của cấu trúc chi tiết cần quan tâm vì các kỹ thuật này liên quan đến việc làm khô mẫu tới hạn, nó không đơn giản như làm khô thông thường vì sẽ làm biến dạng cấu trúc tế bào.
- Pha loãng.
Pha loãng chính xác mẫu huyền phù có thể được thử nghiệm ở nhiều cấp khác nhau và chọn ra hàm lượng pha loãng phù hợp nhất. Các dung môi thường được sử dụng pha loãng là:
- Nước cất hoặc nước khử khoáng
- Cồn tuyệt đối, Ethanol
- Acetone
- Isopropanol
Sự lựa chọn phụ thuộc vào tính chất hóa học của vật liệu mẫu, và/hoặc dung môi có sẵn trong huyền phù. Acetone có thể làm hư hại các thiết bị sử dụng với phương pháp này, do đó cần cẩn thận khi sử dụng với dung môi này.
Sau mỗi bước pha loãng mẫu cần được đặt trong bể siêu âm tối thiểu 10 phút để đảm bảo tách hoàn toàn các hạt.
Thử nghiệm bằng cách sử dụng pippet nhỏ huyền phù trong cồn sạch lên các lam kính sạch. Sấy khô dưới đèn hồng ngoại, tủ sấy , bếp điện hoặc chân không để đảm bảo mẫu khô.
Sau đó sử dùng đế mẫu (stub) gắn sẵn băng dính các bon dẫn điện hoặc đồng ấn lên mặt mẫu đảm bảo mẫu dinh chắc trên đế mẫu. Sử dụng bình xịt khí sạch thổi sạch các hạt tự do bám trên bề mặt để đảm bảo không làm bẩn buồng chân không.
Trường hợp cần thiết có thể phủ một mẫu kim loại (Au, Au / Pd) hoặc bốc bay cacbon dẫn điện. Khi đó có thể gắn cả lam men kính lên trên đế mẫu để phủ mẫu.
Chú ý: không phủ hạt toàn bộ bề mặt của đế mẫu để tránh các hạt xếp chồng lên nhau, khó quan sát. Dễ quan sát nhất là khoảng tối đa 2-3 hạt tụ lại thành một đám, còn lại là các hạt đứng riêng lẻ. Do đó, các thử nhiệm trước là cần thiết để xác định độ pha loãng phù hợp.
Một cách khác nếu muốn các hạt tách rời nhau là lấy một đầu tăm (tăm sạch lấy mẫu) chấm lên bột đã sấy khô rồi chấm lên một góc của mặt đế gắn băng dính các bon. Sử dụng lưng của tăm gạt đều về một phía (theo một chiều) sang góc bên kia. Các hạt sẽ được phân bố từ đậm đến thưa dần. Khi đó dễ dàng hơn khi chọn mật độ quan sát phù hợp. Cách khác nữa là có thể sử dụng bình phun sương để làm các hạt phân tán đều.
Sự khác nhau giữa lựa chọn pipetting hay bình phun sương atomising chính là kích thước hạt và sự phân tán đồng đều. Pipet được cho là phù hợp với các hạt nhỏ kích thước dưới micron đến và chục micron nhưng độ phân tán không đều. Trong khi bình phun sương bị giới hạn vì chỉ phù hợp với các hạt trên 100micron nhưng lại cho phân tán đều.
Chú ý rằng các mẫu khi hoà tan bằng bể siêu âm hoặc siêu âm nếu có tần số cao và thời gian lâu có thể bị làm thay đổi đa cấu trúc. Khi sử dụng bình phun sương thì bắt buộc phải đánh tan mẫu bằng siêu âm trước.
- Sử dụng Pipette
Được sử dụng để nhỏ 1-2 giọt mẫu đã pha loãng và đánh tan bằng siêu âm lên bề mặt đế mẫu cacbon/đồng. Sử dụng đầu tip mới mỗi lần sử dụng. Để khô mẫu trước khi quan sát hoặc phủ mẫu. Kết quả là các hạt sẽ phân tán thành những vòng tròn đồng tâm, thông thường các hạt lớn sẽ ở trung tâm, các hạt nhỏ hơn sẽ được phân tán dần ra các vòng ngoài.
- Bình Phun sương
Kỹ thuật này liên quan đến nhóm thiết bị mang tính nghệ thuật hơn là khoa học.
Có thể sử dụng các bút phun sương hoặc bàn chải khí mà thường được sử dụng trong vẽ tranh. Lợi thế là các dụng cụ này cho phép thay đổi kích thước phân tán ở đầu vòi phun (khẩu độ), sẽ có một phạm vi kích thước cụ thể của các hạt có thể được phun.
Sau khi huyền phù được đánh tan và đưa vào trong bình phun sương, sẽ được phun trực tiếp lên trên mặt băng cacbon. Phun ở một góc 450 thông qua một ống đường kính khoảng 10cm , dài khoảng 30cm.
Số lần phun và thời gian phun tùy thuộc vào kinh nghiệm, tuy nhiên thông thường là phun khoảng 2-3 lần. Điều tối quan trọng là triệt để làm sạch các vòi phun bút khi thay đổi mẫu. Ngoài ra, mẫu cũng có thể được nạp vào chai riêng biệt gắn trên bút/bình bun sương. Acetone không nên được sử dụng với kỹ thuật này.
- Kỹ thuật kẹp giữa “Sandwich”
Một số mẫu dạng huyền phù rất khó quan sát do bị tích điện bề mặt (charging) dù là ở chế độ ESEM. Khi đó, kỹ thuật kẹp giữa “sandwich” có thể được sử dụng để kẹp mẫu giữa hai lớp dẫn điện.
Trước hết một miếng lam kính/thạch anh (hình 3) được rửa sạch bằng cồn, đợi khô rồi gắn lên đế mẫu. Đưa vào phủ một lớp kim loại dày, nằm dưới, cường độ phủ mẫu cao, thời gian ngắn. Khi đó bề mặt của lớp phủ kim loại sẽ bị tạo ra các vết nứt. Mẫu huyền phù sau đó nhỏ lên trên lớp kim loại mới phủ bằng phương pháp tương ứng, đợi khô. Hiện tượng mao dẫn sẽ làm các hạt lọt xống các khe nứt của lớp phủ kim loại. Lớp phủ thứ hai bằng bất kỳ đích gì sẽ được thực hiện lâu hơn, cường độ thấp hơn đảm bảo mịn và mỏng. Các hạt sẽ được kẹp chặt bới các lớp dẫn điện nên đảm bảo không bị tích điện bề mặt xung quanh, cho hình ảnh đẹp, dễ quan sát.
- Tách kích thước bằng bình tách hạt
Tách các hạt có kích thước khác nhau của huyền phù đơn giản hơn là khi chúng đã được cố định trên đế mẫu.
Khi muốn tách thì một thiết bị đơn giản là sử bình tách hạt. Đó là một thiết bị với nhiều vị trí phun sương cho các hạt bắt đầu từ hạt lớn nhất đến hạt nhỏ nhất nhờ các khẩu độ khác nhau. Có thể phun các kích thước hạt khác nhau lên các đế mẫu khác nhau để quan sát.
Mẫu phân tán khô: Bột / sợi
Với các vật liệu phi kim loại ở dạng bột thì cần một kỹ thuật để đảm bảo rằng ít nhất một số hạt được gắn chắc chắn trên đế mẫu cho SEM. Lựa chọn phương pháp dính tốt ngay từ đầu sẽ hạn chế được sự nhiểm bẩn của các hạt trong buồng chân không. Trong khi đó, lựa chọn keo dính tốt sẽ loại bỏ được sự tích điện bề mặt. Điều này cực kỳ quan trọng khi phân tích EDX.
Các mẫu bột kim loại thường không có vấn đề gì phức tạp nhưng các keo dính loại băng dính hai mặt thường có chứa một vi lượng kẽm cacbonat mà có thể được thể hiện khi phân tích EDX.
Các mẫu sợi thường gây ra khó khăn hơn bởi sự kết dính lỏng lẻo của chúng với các chất nền. Thao tác bằng cách gắn một đầu của sợi đế mẫu chờ cho khô, sau đó kéo sợi đi lại đều trên bề mặt của đế mẫu. Các sợi thừa có thể được cắt đi. Có thể sử dụng những đế mẫu đặc biệt cho mẫu sợi. Khi gắn sợi lên stub có thể sử dụng keo gắn bạc hoặc các bon để đảm bảo chắc chắn. Sự lựa chọn chất nền là rất quan trọng bởi tất cả các sợi đều có các cấu trúc phụ.
Các sợi hữu cơ phù hợp với các cơ chất có nền Z thấp như carbon. Lớp phủ kim loại nên được thực hiện cẩn thận vì sự hư hại có thể xảy ra cho sợi hữu cơ khi bức xạ nhiệt.
Lựa chọn chất kết dính
Sử dụng băng dính cacbon để gắn các hạt khô là thực sự dễ dàng hơn nhiều. Trước hết phân tán bột trên một bề mặt sạch (lam kính) và ấn đế mẫu có gắn carbon xuống bột, sử dùng bình xịt khí sạch để thổi các hạt tự do đi.
Khi cần thiết có thể phủ mẫu. Sử dụng keo các bon thì tốt hơn trong các trường hợp mà các hạt cần được giữ chắc trong chất nền. Sau khi sử dụng khí sạch để thổi thì có thể phủ mẫu nếu cần thiết.
- Giấy lọc
Dùng để thấm mẫu vào giấy lọc, làm khô rồi quan sát ở chế độ chân không thấp hoặc ESEM. Thu nhận bột hoặc mẫu sợi bởi giấy lọc không phải là phương pháp tốt nhất cho SEM bởi tạo ra các lỗ/khe rỗng sẽ có khí mà ở đó không thể dẫn điện được. Sử dụng giấy lọc cellulose acetate tốt hơn hơn loại giấy lọc dạng sợi. Khi cần thiết có thể phủ mẫu để tạo bề mặt đồng nhất hơn. Trong trường hợp bị tích điện bề mặt cao thì một lớp phủ cacbon trước khi phủ một lớp kim loại trên cùng là cần thiết.
Mẫu sinh vật sống.
- Mẫu côn trùng
Mẫu côn trùng cần loại bỏ chất béo hữu cơ trước khi được đặt vào chân không. Mẫu nên được ngâm trong ethyl-alcohol trong ít nhất l - 2 tuần để hòa tan các chất béo. Sau đó mẫu được rửa sạch trong ethyl-alcohol sạch để loại bỏ chất béo bề mặt và để khô trên giấy lọc. Nếu không loại bỏ hoàn toàn chất béo thì hình ảnh quan sát là chất béo trên bề mặt của côn trùng. Trong trường hợp tồi tệ nhất, côn trùng có thể phát nổ trong buồng SEM.
Côn trùng khi quan sát được gắn lên băng dính hoặc keo cacbon rồi có thể quan sát trực tiếp dưới chế độ ESEM.
Nếu quan sát dưới chân không cao thì cần thiết phải phủ mẫu. Phủ lần tứ nhất bởi lớp cacbon để cố định bề mặt. Lần thứ hai được phủ bằng Au hay Pd.
- Mẫu thực vật
Mẫu thực vật tươi nên được chuẩn bị bởi phương pháp lạnh đông sâu (cryo-SEM) để đảm bảo quan sát được cấu trúc chi tiết mà không bị phá vỡ. Để quan sát, thời gian tối đa chỉ trong 15 phút và với thế phát dưới 1kV. Ngoài ra cũng có thể quan sát với đế mẫu lạnh trong chế độ ESEM.
- Vậy khi nào thì cần thiết?
Bản sao là cần thiết khi mẫu là quá lớn và không được phép phá hủy mẫu hoặc khi các vật liệu có hại cho chân không hoặc không thể tiếp xúc với các tia điện tử.
Ngoài ra, một số mẫu chuẩn địa chất thường không được phép phủ mẫu. Tuy nhiên, điều này cũng có thể được khắc phục với chân không thấp hoặc chân không môi trường (ESEM).
Có hai phương pháp tạo bản sao là sử dụng tấm cellutose acetate và sử dụng tấm silicon rubber.
- Tấm cellulose acetate
Tấm này được sử dụng chủ yếu trong đánh bóng và khắc kim loại và bề mặt gốm. Nó có thể được sử dụng để cho phân tích X-ray như là xác định các biên giới hạt. Bề mặt được tạo bản sao phải có khả năng chịu được Acetone khi mà các cellulose chảy vào xung quanh tất cả các cấu trúc. Sau khi tạo bản sao, có thể được cắt theo kích cỡ hoặc khu vực quan tâm rồi phủ một lớp kim loại hoặc carbon. Đây là loại bản sao được đánh giá cao, chi tiết và được sử dụng ở độ phóng đại cao.
- Cao su silicone
Cao su silicone có thể được sử dụng để tạo bản sao trên hầu hết các bề mặt, nó chỉ hơi tỏa nhiệt nhưng không ảnh hưởng đến chất dẻo hoặc các bề mặt sơn. Nó có hiệu quả rất lớn trong nghiên cứu địa chất để tái tạo vi các hóa thạch và cổ sinh.
Phương pháp này sử dụng một cao su silicone hai thành phần, cao su silicone với chất làm dẻo và chất lỏng chất xúc tác. Đầu tiên, mẫu hoặc bề mặt được làm sạch hoàn toàn các bụi hoặc các hạt tự do, sau đó phủ một lớp silicon mỏng bằng bàn chải sơn. Sau đó, trộn hai thành phần theo khuyến cáo của sản xuất các sản phẩm đó và tiếp theo trộn lên bề mặt ướt trước đó. Để khô một thời gian theo khuyến cáo của nhà sản xuất. Một lớp mỏng cao su silicone của bản sao sẽ được hình thành. Cắt phần diện tích cần quan tâm làm mẫu. Cần phủ trước một lớp cacbon trước khi phủ mẫu kim loại lên trên bề mặt. Nếu không phủ có thể quan sát dưới chân không thấp hoặc chân không môi trường (ESEM). Mặc dù phương pháp này cho độ chi tiết cao nhưng nó thường chỉ được sử dụng với độ phóng đại thấp.