Bỏ qua để đến Nội dung
Quang phổ đo màng mỏng inline đa năng ETA-TCM

Giá:

0 ₫

Quang phổ đo màng mỏng cho thủy tinh nhãn khoa ETA-ARC
Quang phổ đo màng mỏng cho thủy tinh nhãn khoa ETA-ARC
Quang phổ đo màng mỏng kính và thủy tinh khổ lớn Metis
Quang phổ đo màng mỏng kính và thủy tinh khổ lớn Metis

Quang phổ đo màng mỏng inline đa năng ETA-TCM

Hệ thống đo quang phổ inline ETA-TCM của NXT cung cấp giải pháp kiểm soát chất lượng màng mỏng 100% không phá hủy trực tiếp trên dây chuyền sản xuất. Thiết bị hỗ trợ đo đồng thời độ dày (0.1–30 µm), màu sắc, độ truyền qua, phản xạ và mật độ quang (OD1–OD7). Đây là giải pháp tối ưu giúp tiết kiệm nguyên liệu và nâng cao năng suất cho ngành màn hình, kính và bán dẫn.

5 người đang xem sản phẩm này ngay bây giờ
0 ₫ 0 ₫

  • Lĩnh vực nghiên cứu
  • Thương hiệu - NXT GmbH
NXT GmbH
NXT GmbH

Nhà sản xuất Quang phổ đo chiều dày lớp phủ bằng công nghệ phản xạ

Đặc điểm chính


  • Thiết kế dạng inline mô-đun hóa: Dễ dàng lắp đặt vào mọi hệ thống sản xuất sẵn có và giảm thiểu chi phí tích hợp.
  • Khả năng đo đa chỉ tiêu đồng thời: Cung cấp tức thời dữ liệu về độ dày, màu sắc, độ phản xạ, truyền qua và mật độ quang trong một hệ thống duy nhất.
  • Đo lường với độ chính xác và tính lặp lại cao: Đảm bảo dữ liệu đo ổn định nhờ bộ cảm biến dòng Si/InGaAs tuyến tính cao và quy trình hiệu chuẩn chuẩn quốc tế.
  • Độ bền cao trong môi trường động: Duy trì độ ổn định đo lường cao ngay cả khi mẫu dịch chuyển, rung lắc, thay đổi khoảng cách hoặc góc nghiêng.
  • Tự động đo dòng tối và tham chiếu: Tích hợp cửa sập cơ học thông minh giúp loại bỏ sai số hệ thống mà không cần dừng dây chuyền sản xuất.
  • Phần mềm ETA-TCM chuyên dụng: Trực quan hóa dữ liệu xu hướng thời gian thực, lưu trữ thông minh và kết nối trực tiếp đến PLC thông qua cổng truyền thông công nghiệp.

Mô tả chi tiết


Nguyên lý đo không tiếp xúc thời gian thực

ETA-TCM là hệ thống đo phổ công nghiệp dựa trên nguyên lý đo phản xạ và truyền qua không tiếp xúc. Thiết bị sử dụng lưới nhiễu xạ truyền qua kết hợp đầu dò diode/InGaAs tuyến tính cao. Mỗi hệ thống được hiệu chuẩn chính xác bằng nguồn sáng chuẩn, đảm bảo kết quả đo ổn định lâu dài trong cả môi trường sản xuất tĩnh và động.

Kiểm soát chất lượng toàn diện và giảm phế thải

Nhờ tốc độ đo inline cực nhanh, ETA-TCM kiểm soát 100% chất lượng bề mặt sản phẩm màng mỏng. Thiết bị phát hiện tức thời các sai lệch độ dày (20 nm – 30 µm) hoặc mật độ quang (OD1–OD7). Điều này cho phép người vận hành tinh chỉnh quy trình phủ kịp thời, giúp tối ưu hóa lượng nguyên liệu và ngăn ngừa lỗi hàng loạt.

Thiết kế mô-đun và phần mềm thông minh

Thiết bị sở hữu các đầu đo nhỏ gọn kết nối sợi quang bọc thép không gỉ. Phần mềm ETA-TCM cung cấp biểu đồ xu hướng trực quan và thiết lập giới hạn đạt/hỏng. Hệ thống hỗ trợ truyền thông tin đo trực tiếp tới PLC của dây chuyền qua cổng Digital I/O, TCP/IP hoặc RS232, đáp ứng yêu cầu tự động hóa nhà máy.

Thông số kỹ thuật chi tiết


Dải đo độ dày (Cấu hình Phản xạ & Độ dày)0.1 – 20 µm (380–1050 nm) hoặc 1 – 30 µm (850–1700 nm)
(Hỗ trợ đo xuống đến 20 nm khi sử dụng phương pháp Stack fit)
Độ chính xác độ dày± 0.01 µm (cho dải 0.1–1 µm); ± 0.04 µm (cho dải 1–20 µm); ± 0.1 µm (cho dải 1–30 µm)
Độ lặp lại độ dày3σ < 0.001 µm (dải 0.1–1 µm); 3σ < 0.005 µm (dải 1–20 µm); 3σ < 0.005 µm (dải 1–30 µm)
Dải phổ màu sắc & truyền quang380 – 780 nm hoặc 380 – 1050 nm
Độ chính xác màu sắc (xyY)x,y: ± 0.002; Y: ± 0.5
Độ lặp lại màu sắc (xyY)x,y: 3σ < 0.001; Y: 3σ < 0.1
Dải đo mật độ quang (OD)OD1 – OD7
Độ chính xác đo OD± 0.5% tương đối (với OD ≤ 6.0); ± 1.0% tương đối (với 6.0 < OD ≤ 7)
Độ lặp lại đo OD3σ < 0.02 (3.0 < OD ≤ 5.0); 3σ < 0.04 (5.0 < OD ≤ 6.0);
3σ < 0.08 (6.0 < OD ≤ 6.5); 3σ < 0.12 (6.5 < OD < 7)
Loại đầu dò (Detector)Cảm biến dòng Si (Si line sensor) 512 pixel; Cảm biến dòng InGaAs (InGaAs line sensor) 256 pixel;
Hoặc điốt quang Si (Si photo element) số hóa 24-bit (cho cấu hình OD)


Thông số bổ sung

  • Nguồn điện: 3 pha, 380–400 V, 50/60 Hz.
  • Tiêu thụ điện: ~12 kW (bao gồm hệ thống làm lạnh và điều khiển).
  • Mức tiếng ồn: <60 dB trong điều kiện vận hành tiêu chuẩn. 
Lĩnh vực nghiên cứu Khoa học Vật liệu
Thương hiệu NXT GmbH
ETA_Spectral_measurement_NXT_2017_V2_small_compressed_compressed-08.png
Tải xuống
ETA_Spectral_measurement_NXT_2017_V2_small_compressed_compressed-09.png
Tải xuống
ETA_Spectral_measurement_NXT_2017_V2_small_compressed_compressed-10.png
Tải xuống
ETA_Spectral_measurement_NXT_2017_V2_small_compressed_compressed-11.png
Tải xuống
ETA_Spectral_measurement_NXT_2017_V2_small_compressed_compressed-12.png
Tải xuống
ETA_Spectral_measurement_NXT_2017_V2_small_compressed_compressed-13.png
Tải xuống
Quang phổ đo màng mỏng inline đa năng ETA-TCM
Quang phổ đo màng mỏng inline đa năng ETA-TCM
0 ₫