Đặc điểm chính
- Bộ điều khiển quét tốc độ cao: Thời gian quét 10 ns/pixel, tốc độ thu nhận ảnh tối đa 2*100M pixel/s
- Hệ thống làm lệch chùm tia tốc độ cao hoàn toàn bằng điện tĩnh
- Khả năng tạo ảnh trường nhìn lớn độ phân giải cao, đạt trường nhìn tối đa lên đến 64 µm * 64 µm với độ phân giải 4 nm/pixel
- Giảm điện áp tiếp xúc của electron tới mẫu, tăng hiệu quả thu nhận tín hiệu electron.
- Từ trường của thấu kính bao phủ mẫu, góp phần tạo ra hình ảnh có độ phân giải cao
Mô tả chi tiết
Công nghệ & Nguyên lý
CIQTEK HEM6000 vận hành dựa trên nền tảng nguồn súng phóng điện tử trường phát xạ Schottky độ sáng cao kết hợp với hệ thống lệch chùm tia tĩnh điện cao tốc 5 tầng. Nguyên lý cốt lõi sử dụng thấu kính hội tụ hỗn hợp từ - tĩnh điện ngâm mẫu, kết hợp chặt chẽ với công nghệ dịch trục quang học động theo dải quét và công nghệ giảm tốc bàn mẫu. Kiến trúc này giúp duy trì mật độ dòng cao, loại bỏ sai lệch quang sai và cho phép chùm tia điện tử quét cực nhanh qua bề mặt mẫu với thời gian trễ chỉ 10 ns mỗi điểm ảnh.
Chụp ảnh độ phân giải cao trên một diện tích bề mặt lớn:
HEM6000 giải quyết triệt để bài toán về thời gian khi phải mất nhiều tiếng đồng hồ (thường >140 phút cho diện tích 2mm2, mẫu dễ bị biến tính hoặc cháy hỏng do chùm tia liên tục bắn phá này nhờ tốc độ chụp siêu tốc giúp quét phân tích vùng mẫu tương tự chỉ trong vòng 25 phút 32 giây (nhanh gấp 5 lần).
Chế độ điện áp thấp tối ưu từ công nghệ giảm tốc giúp bảo vệ nguyên vẹn các cấu trúc mô sinh học mỏng, trong khi thuật toán căn chỉnh mẫu có tính lặp lại cao xử lý hoàn hảo các lớp mạch kim loại (device/metal layers) của chip IC mà không lo lỗi lệch ảnh.
Tích hợp, mở rộng
Trang bị hệ thống tự động nhận diện mẫu, tự đọng chọn vùng chụp ảnh, tự động điều chỉnh độ sáng và độ tương phản, tự động lấy nét và tự động hiệu chỉnh tiêu cự.