Đặc điểm chính
Danh mục các sản phẩm của SPECS được mở rộng với một loạt hệ thống quang phổ XPS ProvenX, đại diện cho tinh hoa kiến thức chiều rộng của chúng tôi trong quá trình phát triển và sản xuất các hệ thống hoàn chỉnh để phân tích chiều rộng đáp ứng các yêu cầu khoa học khắt khe nhất. ProvenX bao gồm một loạt các XPS chuyên dụng dành cho ARPES, µ-ARPES và Momentum Microscopy, XPS/UPS cũng như NAP-XPS.
- Nền tảng công nghệ tin cậy: Dòng hệ thống ProvenX được phát triển dựa trên kinh nghiệm lâu năm của SPECS trong việc chế tạo các hệ thống phân tích bề mặt hiệu năng cao.
- Tối ưu hóa hiệu suất: Triết lý thiết kế của hệ thống là sự kết hợp giữa các kỹ thuật phân tích thiết yếu nhất với công nghệ tiên tiến, đã qua kiểm chứng để đạt được hiệu suất tối đỉnh.
Mô tả chi tiết
ProvenX: Một hệ thống tinh tuý từ kinh nghiệm sâu rộng của SPECS group
Một ProvenX cơ bản có bố cục hệ thống nhỏ gọn, cố định nhưng lại có tính linh hoạt cao trong việc lựa chọn các thành phần phân tích như máy phân tích năng lượng điện tử bán cầu, nguồn tia X, nguồn UV, nguồn ion , súng điện tử, v.v. Do sê-ri hệ thống ProvenX là tổng hợp của tất cả các hệ thống mà chúng tôi đã xây dựng cho đến nay, nên có hiệu quả đã được kiểm tra, các thông số kỹ thuật hệ thống, bản vẽ hệ thống, thử nghiệm nghiệm thu tại nhà máy và mặt bằng cũng như các yêu cầu lắp đặt đều đã có sẵn. Thực tế là dễ cài đặt và sử dụng cho một hệ thống đa chức năng, đa công nghệ
Cấu hình phần cứng cốt lõi của ProvenX-PS
- Hệ thống chuyên dụng: ProvenX-PS là hệ thống chuyên dụng cho phép đo phổ quang điện tử tia X (XPS) và phổ quang điện tử tử ngoại (UPS).
- Bộ phân tích electron PHOIBOS 150: Được trang bị đầu dò đường truyền trễ (delay-line detector) 128 kênh siêu tốc, tích hợp tính năng chụp nhanh dữ liệu (snapshot capability).
- Nguồn tia X đơn sắc hóa: Sử dụng nguồn tia X đơn sắc hóa anode kép FOCUS 500 (FOCUS 500 dual anode monochromated X-ray source).
- Nguồn UV hiệu suất cao (Tùy chọn): Có thể tích hợp thêm nguồn UV cường độ cao UVS 10.
Buồng chân không và Tiền xử lý mẫu
- Lưu trữ mẫu sạch: Hệ thống đi kèm với bộ phận lưu trữ mẫu trong môi trường chân không siêu cao (UHV) siêu sạch.
- Buồng nạp mẫu nhanh (Loadlock): Hỗ trợ nạp nhanh đồng thời nhiều mẫu (multi sample fast entry).
Khả năng mở rộng nâng cấp:
- Có thể trang bị thêm một buồng chuẩn bị mẫu chuyên dụng.
- Tùy chọn tích hợp thêm buồng phản ứng áp suất cao HPC 20 (high pressure cell).
Hệ thống điều khiển và Phần mềm
- Phần mềm SpecsLab Prodigy: Điều khiển toàn bộ hệ thống thông qua bộ phần mềm SpecsLab Prodigy, tích hợp sẵn các gói điều khiển từ xa.
- Tự động hóa vận hành: Hỗ trợ cơ chế dịch chuyển và xử lý mẫu tự động.
- Quản lý chân không: Hệ thống quản lý và kiểm soát chân không được số hóa, điều khiển hoàn toàn bằng máy tính.
Các thiết bị ngoại vi và Tùy chọn bổ sung
- Nguồn tia X điểm nhỏ (Small spot X-ray source): Tùy chọn tích hợp phục vụ cho các ứng dụng phân tích đặc tính vật liệu chuyên sâu.
- Các nguồn bắn phá/bù trừ điện tích: Hỗ trợ tích hợp các nguồn ion, nguồn electron và nguồn trung hòa điện tích (charge neutralization).
- Tiện ích mở rộng: Sẵn sàng cung cấp bổ sung các phần mềm chuyên dụng và công cụ chuẩn bị mẫu khác tùy theo nhu cầu nghiên cứu.










Hệ thống ProvenX DeviSim NAP dành cho phân tích XPS và UPS hiện đại trong điều kiện cận áp suất môi trường (NAP)