Đặc điểm chính
- Cấu hình đo lường linh hoạt: Tùy chọn dải bước sóng với cảm biến Si (380-1050 nm) hoặc InGaAs (850-1700 nm), đáp ứng tối đa yêu cầu kiểm tra màng trong suốt (trong phổ nhìn thấy) và màng hấp thụ ánh sáng (hồng ngoại gần).
- Độ chính xác và tính lặp lại cực cao: Đạt mức sai số độ dày chỉ ± 0.01 µm và độ lặp lại vượt trội (3σ < 0.001 µm đối với dải 0.1-1 µm), đảm bảo kiểm soát chất lượng chuẩn xác cho các lớp phủ siêu mỏng.
- Thiết kế phần cứng tinh gọn: Tích hợp nguồn Halogen HL50 (tuổi thọ >2000 giờ) và cáp quang học chữ Y (Y-fiber) trong một tổng thể nhỏ gọn, tối ưu không gian làm việc của phòng thí nghiệm.
- Phân tích cấu trúc màng đa dạng: Giải quyết các bài toán đo lớp phủ đơn (Single-layer) hoặc màng phức hợp (Dual-layer), lý tưởng cho màng chống chói (AR), vật liệu cản quang (photo-resist), hoặc lớp phủ sơn/ô tô.
- Vận hành phần mềm trực quan: Nền tảng ETA-STC mạnh mẽ tự động hóa quá trình thu thập, xử lý phổ và tính toán độ dày, giúp kỹ thuật viên dễ dàng đánh giá ngay cả khi không có chuyên môn sâu về quang phổ học.
Mô tả chi tiết
Công nghệ quang phổ phản xạ tuyến tính tiên tiến
Được nghiên cứu và chế tạo theo tiêu chuẩn khắt khe tại Đức bởi NXT GmbH, hệ thống ETA-SST vận hành trên nền tảng đo lường quang phổ phản xạ (Spectral reflectance) đột phá. Thiết bị sử dụng nguồn sáng Halogen đa sắc dẫn truyền qua cáp quang chữ Y chiếu lên bề mặt mẫu. Tín hiệu phản xạ được thu nhận qua cách tử nhiễu xạ ba chiều (Holographic diffraction grating) tới cảm biến mảng tuyến tính hiệu suất cao (512-pixel Si hoặc 256-pixel InGaAs). Hệ thống quang học ổn định này mang lại độ phân giải lý thuyết 0.8 nm cùng thời gian quét siêu nhanh (chỉ từ 0.01 ms), loại bỏ hoàn toàn nhiễu động do ánh sáng môi trường.
Giải pháp gỡ rối cho QA/QC màng mỏng
Trong công nghiệp quang học và màng mỏng bán dẫn, biến thiên nhỏ về độ dày lớp phủ có thể dẫn đến thất bại toàn bộ sản phẩm và hao phí nguyên liệu. ETA-SST khắc phục điểm nghẽn này bằng công nghệ đo đạc không phá hủy (non-destructive) siêu nhanh. Dữ liệu phổ phản xạ được phân tích tức thì để kiểm soát chính xác độ dày từ 0.1 µm đến 30 µm. Khả năng đo đạc đa dạng – từ lớp màng chống chói mặt kính, thủy tinh trần, đến polymer đóng gói và vật liệu cản quang – giúp nhà sản xuất theo dõi sát sao, điều chỉnh sai lệch, giảm phế phẩm và tối ưu hóa hiệu quả R&D.
Tích hợp dễ dàng và nền tảng thông minh
Được định hình hoàn hảo cho các ứng dụng tại phòng thí nghiệm (Laboratory applications), ETA-SST sở hữu khung máy gọn nhẹ (kích thước ~ 47 x 31 cm). Trái tim của hệ thống là phần mềm phân tích ETA-STC thân thiện với người dùng, hỗ trợ tính năng xuất và hiển thị dữ liệu dạng biểu đồ quang phổ trực quan. Nền tảng này cho phép dễ dàng mở rộng thuật toán fit đường cong (curve fit methods), giúp thiết bị đo được cả hệ thống màng siêu mỏng (tới 20 nm) khi kết hợp cùng các công nghệ đo stack tiên tiến của hãng, đảm bảo khoản đầu tư an toàn và linh hoạt trong dài hạn.