Bỏ qua để đến Nội dung
Máy đo độ cứng nano (Nanoindentation Tester) ENT-5

Giá:

0 ₫

Kính hiển vi Điện tử - ion hội tụ DB550
Kính hiển vi Điện tử - ion hội tụ DB550
Buồng thao tác siêu sạch Glove Box PureMod
Buồng thao tác siêu sạch Glove Box PureMod

Máy đo độ cứng nano (Nanoindentation Tester) ENT-5

Hệ thống đo độ cứng nano mang lại độ lặp lại dữ liệu (data reproducibility) cao nhờ giảm thiểu tối đa các tác động nhiễu từ môi trường đo lường.Tải trọng thử nghiệm: 0.5 µN ~ 2 N. Vận hành đơn giản và Độ lặp lại dữ liệu cao 


10 người đang xem sản phẩm này ngay bây giờ
0 ₫ 0 ₫

  • Lĩnh vực nghiên cứu
  • Thương hiệu - Elionix
  • Vật liệu mẫu
Elionix
Elionix

Nhà sản xuất hệ thống quang khắc chùm điện tử (E-beam Lithogrpahy) nổi tiếng cho R&D đến từ Nhật Bản

Thẻ

Đặc điểm chính


Thử nghiệm đo độ nhớt (Viscoelasticity test):
  • Tích hợp khả năng tạo tải trọng dao động ở tần số tùy chọn, kết hợp đầu đâm ép liên tục vào mẫu dưới một lực nền không đổi.
  • Hỗ trợ đo lường chính xác các đặc tính động học của vật liệu bao gồm:

    • Mô-đun lưu trữ (Storage modulus)
    • Mô-đun tổn thất (Loss modulus)
    • Hệ số tổn thất (Loss factor)
  • Khả năng kết hợp cùng bệ gia nhiệt (heating stage)
Thử nghiệm trong môi trường chất lỏng (In-liquid test):
  • Hỗ trợ thực thi các phép đo nanoindentation (độ cứng và độ đàn hồi) trực tiếp khi mẫu đang được ngâm chìm trong môi trường nước hoặc các chất lỏng chuyên dụng khác.
Thử nghiệm cường độ nén của hạt vi mô (Micro-particle compressive strength test):
  • Lưu ý: Chỉ áp dụng cho cấu hình tích hợp Khối tải trọng cao (High load unit).
  • Sử dụng đầu đâm dạng phẳng (flat-ended indenter) để tác dụng lực nén hoặc ép vỡ các hạt mịn (vi hạt).
  • Xác định và đo lường chính xác cường độ chịu nén cũng như hành vi biến dạng của hạt dưới tải trọng.

Mô tả chi tiết


Khả năng ứng dụng trên đa dạng chủng loại vật liệu

  • Các loại vật liệu màng mỏng như lớp mạ và màng cứng (hard films).
  • Vật liệu nhựa resin, vật liệu màng (film materials).
  • Màng cực mỏng như carbon giống kim cương (DLC - Diamond-Like Carbon).
  • Màng nhựa chức năng (functional resin film) và màng biến tính bề mặt (surface modification film).
  • Các hạt vi mô (microparticles) và vật liệu dạng bột.

Thử nghiệm đo độ cứng nano (Nanoindentation test)

  • Xác định chính xác các đặc tính cơ học như độ cứng (hardness) và mô-đun đàn hồi (elastic modulus) của màng mỏng, bề mặt cực hạn (extreme surfaces) và các vùng kích thước vi mô.
  • Không yêu cầu quan sát vết lõm sau khi nhấn (indentation observation) nhờ khả năng phân tích trực tiếp từ đường cong tải trọng - độ dịch chuyển (load-displacement curve) để thu được các đặc tính vật liệu.
  • Tuân thủ nghiêm ngặt tiêu chuẩn quốc tế ISO 14577-1 / JIS Z 2255.
Độ lặp lại dữ liệu và khả năng bảo trì (Data reproducibility and maintainability)
  • Cơ chế kiểm soát nhiệt độ (Temperature control mechanism)

    • Triệt tiêu hiện tượng giãn nở nhiệt của mẫu và thiết bị thử nghiệm.
    • Kiểm soát nhiệt độ bên trong buồng chắn gió ở mức ổn định ±0.1°C.
    • Sử dụng vật liệu có hệ số giãn nở nhiệt thấp (Nobinite) cho các bộ phận đo lường.
    • Ngăn chặn hoàn toàn ảnh hưởng từ các luồng không khí bên ngoài.
  • Bàn mẫu định vị độ chính xác cao (High precision positioning stage)

    • Áp dụng công nghệ bàn mẫu độ chính xác cao được phát triển nội bộ từ các thiết bị quang khắc chùm tia điện tử (EBL) của hãng.
    • Khả năng định vị di chuyển theo các bước tinh chỉnh 0.1 µm.
    • Đo lường tại bất kỳ vị trí mong muốn nào với độ phóng đại quan sát lên tới 2.000x (khi sử dụng thấu kính vật kính tiêu chuẩn 20x kết hợp thu phóng kỹ thuật số).
  • Cơ chế chống rung (Anti-vibration mechanism)

    • Thiết kế bàn mẫu dạng chêm (wedge-shaped stage) độ chính xác cao, có khả năng kháng rung vượt trội.
    • Được trang bị tiêu chuẩn bàn chống rung chủ động (active anti-vibration table).
  • Phần mềm điều khiển (Software)

    • Tích hợp các chức năng phụ trợ như: hiệu chuẩn đầu đâm (indenter tip correction), hiệu chuẩn độ trôi nhiệt (temperature drift correction) và nhắc nhở lịch kiểm tra định kỳ hàng ngày.
    • Giao diện và quy trình vận hành được tối ưu hóa qua nhiều năm kinh nghiệm thực tiễn.
  • Độ lặp lại dữ liệu cao (Data reproducibility)

    • Nâng cao độ lặp lại của dữ liệu thông qua cơ chế triệt tiêu các tác động nhiễu môi trường (như rung động và biến thiên nhiệt độ).
    • Đảm bảo khả năng thu thập dữ liệu ổn định ngay cả trong chế độ đo liên tục.
  • Khả năng bảo trì tiện lợi (Maintainability)

    • Dễ dàng thay thế linh hoạt giữa khối module tải trọng cao (high load unit) và khối module tải trọng thấp (low load unit).
    • Giảm thiểu thời gian dừng máy (equipment downtime) nhờ quy trình hiệu chuẩn thiết bị được thực hiện thông qua việc hoán đổi các module này.

Khối Module Tải trọng (Load Unit)

  • Khối tải trọng cao (High load unit):

    • Hỗ trợ dải lực thử nghiệm từ 5 µN đến 2 N.
    • Tương thích với các thử nghiệm đo độ cứng cho dải vật liệu rộng, từ vật liệu kim loại đến vật liệu polymer.
    • (Ví dụ phép đo tiêu biểu: Đo trên Thạch anh nung chảy [Fused quartz] với tải trọng thử nghiệm 100 µN, thực hiện 9 lần nhấn trùng lặp).
  • Khối tải trọng thấp (Low load unit):

    • Hỗ trợ dải lực cực nhỏ từ 0.5 µN đến 10 mN.
    • Mang lại độ lặp lại và độ ổn định vượt trội đối với các phép đo trên vật liệu mềm (mô-đun đàn hồi) và các phép đo có độ sâu vết lõm dưới 10 nm.
    • Thích hợp tối ưu cho việc đánh giá đặc tính cơ học của nhựa chức năng (như nhựa đóng rắn bằng tia UV), màng điện môi thấp (low-k films), vật liệu đàn hồi (như cao su silicone) và các màng cứng siêu mỏng (như màng DLC).

Thông số kỹ thuật chi tiết


Thông số Giá trị
Dải tải trọng / Độ phân giải tải trọng * Khối tải trọng cao (High load unit): 5 μN đến 2,000 mN / 5 nN
* Khối tải trọng thấp (Low force unit): 0.5 μN đến 10 mN / 0.03 nN
Phương thức tác dụng lực Lực điện từ (Electromagnetic force)
Dải đo (Hành trình đo) +/- 50 μm
Độ phân giải phép đo 0.3 pm
Phương pháp đo Quang học (Optical)
Kích thước mẫu (Giá trị tiêu chuẩn) Đường kính 50 mm, độ dày 3.5 mm
Vùng đo khả thi X 50, Y 40 mm
Bước dịch chuyển tối thiểu 0.1 μm


Lĩnh vực nghiên cứu Khoa học Vật liệu hoặc Công nghệ Bán dẫn
Vật liệu mẫu Kim loại & Hợp kim hoặc Vật liệu tiên tiến
Thương hiệu Elionix
Máy đo độ cứng nano (Nanoindentation Tester) ENT-5
Máy đo độ cứng nano (Nanoindentation Tester) ENT-5
0 ₫