CIQTEK HEM6000 tích hợp các công nghệ như electron gun độ sáng cao với dòng điện chùm lớn, hệ thống làm lệch chùm electron tốc độ, cơ chế giảm tốc mẫu bằng điện áp cao. Thiết bị tăng tốc độ thu ảnh cấu trúc nano lớn nhanh gấp 5 lần FESEM thông thường, mang lại giải pháp tái dựng 3D quy mô lớn hoàn hảo cho ngành bán dẫn và sinh học (biological 3D reconstruction).

Sở hữu công nghệ chùm ion EXLIE tiên tiến, máy quang phổ khối thứ cấp SIMS AKONIS đạt độ phân giải <1 nm/decade. Đây là giải pháp in-line tối ưu cho sản xuất bán dẫn khối lượng lớn (HVM), giúp đo lường thành phần màng và biên dạng cấy ion trên pad siêu nhỏ 20 µm hoàn toàn tự động hóa mà không cần đến chuyên gia SIMS.

SPECS EnviroMETROS là thế hệ hệ thống XPS đo lường bề mặt (Surface Hybrid Metrology) mang tính cách mạng, được thiết kế chuyên dụng cho việc phân tích thành phần hóa học theo chiều sâu của màng mỏng từ quy mô phòng thí nghiệm đến nhà máy sản xuất bán dẫn. Hệ thống tích hợp cốt lõi kỹ thuật quang phổ ảnh điện tử tia X phân giải góc (ARXPS) tự động hóa hoàn toàn, kết hợp linh hoạt đa nguồn năng lượng tia X và khả năng vận hành trong dải áp suất cực rộng từ chân không siêu cao (UHV) đến cận áp suất khí quyển (NAP). Đây là giải pháp tối ưu để phân tích cấu trúc lớp và đặc tính vật liệu mà không phá hủy mẫu.