Tổng quan:

  • Bốc hơi nhiệt (tối đa bốn thuyền riêng lẻ 4″ hoặc sáu tổ hợp thuyền 2″)
  • Nguồn phún xạ TORUS® Magnetron (tối đa sáu nguồn 2″ hoặc 3″)
  • Nguồn bay hơi tia điện tử (4 túi 8cc, 8 túi 12cc, 6 túi 20cc)
  • LTE10 Nguồn lắng đọng hữu cơ (tối đa hai)
  • Cho phép lựa chọn cấu hình tuỳ chỉnh theo yêu cầu của khách hàng

Đặc điểm chính:

Thân máy cơ bản với khung máy và buồng phủ lắng đọng:

  • Buồng thép không gỉ 304 buồng với cửa nhôm và khung quan sát lớn.
  • Màn hình cảm ứng điều khiển thủ công hoặc điều khiển theo công thức, tự động hóa quy trình dựa trên máy tính.
  • Hệ chân không bơm ion phân tử hoặc lựa chọn bơm với môi chất làm lạnh
  • Các công nghệ lắng đọng tùy chọn có thể lắp đặt hoặc nâng cấp:
  • Phún xạ Magnetron: RF, DC, Xung DC, Phún xạ magnetron xung công suất cao (HiPIMS / HPPMS)
  • Bốc bay chùm electron.
  • Bốc bay nhiệt
  • Bốc hay chất hữu cơ
  • Làm sạch bề mặt nguồn ion hoặc hỗ trợ lắng đọng