Thiết bị vi phân tích đầu dò điện tử (gọi tắt là EPMA) sử dụng chùm tia điện tử kích thước nhỏ cỡ micro (microbeam) kết hợp với tối đa 04 quang phổ tán xạ bước sóng WDS và 01 phổ tán xạ năng lượng EDS cho phép phân tích chính xác thành phần hóa học tại vị trí của mẫu có kích thước micron.

Tầm quan trọng chính của một EPMA là khả năng định vị chính xác, phân tích định lượng nguyên tố tại phổ tán xạ bước sóng WDS điểm có kích thước rất nhỏ (ít nhất là 1-2 micron) gọi là phân tích điểm bởi quang phổ tán xạ bước sóng (hay còn gọi là quang phổ tán sắc). Kết hợp với phổ tán xạ năng lượng, EPMA cho phép lập bản đồ phân bố cùng định lượng chính xác các nguyên tố hóa học.

EPMA cũng cho các hình ảnh thu được như hình ảnh điện tử thứ cấp, hình ảnh điện tử tán xạ ngược, huỳnh quang ca tốt (cathodoluminescence), phân tích pha mạng tinh thể (EBSD)….EPMA cung cấp kết quả tốt hơn nhiều so với SEM / EDS bởi ứng dụng của bộ WDS, độ nhạy, phân tích các nguyên tố nhẹ là ưu việt với EPMA. Độ phân giải phổ và xác định thời gian chết tốt hơn nhiều so với EDS. Hệ thống điều chỉnh chùm tia kích thích và bệ mẫu chỉnh tinh đảm bảo EPMA cung cấp sự ổn định vượt trội.

Trong định tuổi monazite tại chỗ bằng cách đo U, Th và Pb cho phép kết nối các vi cấu trúc và dữ liệu geochronology do đó EPMA cung cấp một dạng mới thông tin cho các nhà địa chất. EPMA phân tích nhanh hơn so với phương pháp phổ khối tiêu chuẩn nhờ độ phân giải cao: với kích thước điểm nhỏ hơn 1 um, độ phân giải tốt hơn 10 đến 100 lần các phương pháp đồng vị.